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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本USHIO牛尾準(zhǔn)分子燈

  • 產(chǎn)品型號:126nm/146nm/172nm/222nm/308nm
  • 產(chǎn)品廠商:USHIO牛尾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】 封入氙氣的準(zhǔn)分子(Excimer)燈,(誘電體屏障放電Excimer燈) 可有效放射波長180nm以下的VUV,(真空紫外線) 達到快速的化學(xué)反應(yīng)與反應(yīng)速度。
詳情介紹:

日本USHIO牛尾準(zhǔn)分子燈126nm/146nm/172nm/222nm/308nm

【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】

封入氙氣的準(zhǔn)分子(Excimer)燈,(誘電體屏障放電Excimer燈)

可有效放射波長180nm以下的VUV,(真空紫外線)

達到快速的化學(xué)反應(yīng)與反應(yīng)速度。

特征:


  • 單一波長、低溫處理
  • 因為是單一波長,因此可選擇會引起化學(xué)反應(yīng)的紫外線,
  • 并可達到不使對象物產(chǎn)生非必要反應(yīng)或熱的低溫處理。


  • 高效率
  • 從電力轉(zhuǎn)換為光能源的效率高(172nm型的轉(zhuǎn)換率10%),
  • 即使低電力亦可產(chǎn)生大的能量。


  • 可瞬間亮燈滅燈
  • 僅于必要時照射必要量的能量,
  • 因此具備「不需要快門」、「實際上可延長使用壽命」等各種優(yōu)點。


  • 安裝方向不受限制
  • 燈的亮燈方向不受限制,可配合生產(chǎn)線做立面照射。


分光分布


半導(dǎo)體制程用裝置實例


液晶制程用裝置實例


主要用途:


  • HDD光碟洗凈

  • 阻劑剝離

  • 阻劑殘渣的剝離

  • 塑料基板的洗凈

  • 金屬表面的清洗與重組

  • Low-k Cure

  • PDP螢光體評估

  • 分析評估前的洗凈

  • 氣體分解

  • 形成氧化膜

  • 防止帶電

  • 干燥

  • 玻璃膠膜的貼合

  • 纖維的改質(zhì)

  • 有機EL封裝管的接合性提高

  • 有機EL的工作函數(shù)増加


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