產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】
封入氙氣的準(zhǔn)分子(Excimer)燈,(誘電體屏障放電Excimer燈)
可有效放射波長180nm以下的VUV,(真空紫外線)
達到快速的化學(xué)反應(yīng)與反應(yīng)速度。
詳情介紹:
日本USHIO牛尾準(zhǔn)分子燈126nm/146nm/172nm/222nm/308nm
【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】
封入氙氣的準(zhǔn)分子(Excimer)燈,(誘電體屏障放電Excimer燈)
可有效放射波長180nm以下的VUV,(真空紫外線)
達到快速的化學(xué)反應(yīng)與反應(yīng)速度。
特征:
- 單一波長、低溫處理
- 因為是單一波長,因此可選擇會引起化學(xué)反應(yīng)的紫外線,
- 并可達到不使對象物產(chǎn)生非必要反應(yīng)或熱的低溫處理。
- 高效率
- 從電力轉(zhuǎn)換為光能源的效率高(172nm型的轉(zhuǎn)換率10%),
- 即使低電力亦可產(chǎn)生大的能量。
- 可瞬間亮燈滅燈
- 僅于必要時照射必要量的能量,
- 因此具備「不需要快門」、「實際上可延長使用壽命」等各種優(yōu)點。
- 安裝方向不受限制
- 燈的亮燈方向不受限制,可配合生產(chǎn)線做立面照射。
分光分布
半導(dǎo)體制程用裝置實例
液晶制程用裝置實例
主要用途:
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HDD光碟洗凈
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阻劑剝離
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阻劑殘渣的剝離
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塑料基板的洗凈
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金屬表面的清洗與重組
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Low-k Cure
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PDP螢光體評估
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分析評估前的洗凈
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氣體分解
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形成氧化膜
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防止帶電
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干燥
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玻璃膠膜的貼合
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纖維的改質(zhì)
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有機EL封裝管的接合性提高
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有機EL的工作函數(shù)増加
產(chǎn)品留言
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