KASUGA春日電機兼容靜電電位傳感器 KS-3101
在真空中，減輕靜電的氣體成分**，因此靜電會導(dǎo)致比大氣壓環(huán)境中更嚴(yán)重的生產(chǎn)問題。
真空兼容靜電勢傳感器是可用于測量真空中產(chǎn)生的靜電的傳感器，使用可在真空環(huán)境中使用的材料和組件。 使用它來確定真空過程中產(chǎn)生靜電的原因，并持續(xù)監(jiān)測靜電勢。
特性
大氣壓和真空下的線性度
該圖顯示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意電壓的充電板電位的測量結(jié)果。 即使在不同的壓力環(huán)境下（真空下10-3Pa，大氣壓下10+5Pa），無需校準(zhǔn)即可獲得相同的讀數(shù)。
* 此數(shù)據(jù)為實際測量值，并非保證值。
測量真空兼容靜電勢傳感器對真空室的影響
●除氣分析比較
對傳感器發(fā)出的釋氣的分析證實，氣體的主要成分是水和微量的碳氫化合物。 由于每個峰與背景中測量的峰相同，因此認為它來自從環(huán)境中吸附在傳感器表面的氣體。
●可達到的真空度比較
排氣系統(tǒng)：渦輪分子泵TG220FCAB大阪真空設(shè)備制造株
式會社 抽速：220升/秒（N2）
腔室尺寸：φ300×升300mm
* 此數(shù)據(jù)為實際測量值，并非保證值。
規(guī)范
| 型 | KS-3101 |
|---|---|
| 檢測方法 | 振動表面電位傳感器 |
| 推薦真空 | 10 5Pa（大氣壓），10 -1~10 -5帕 |
| 測量范圍 |
高量程：0~±20.0kV（測量距離100mm）
低量程：0~±2000V（測量距離10mm）
|
| 測量精度 | ± 10% 以內(nèi) |
| 報警 | 檢測傳感器故障LED顯示屏 |
| 使用環(huán)境 | 溫度0~40°C，濕度65%以下（無冷凝） |
| 質(zhì)量 | 約130g（不包括電纜和控制盒） |
| 配置要點 |
真空電纜：KS-3101-C01（電纜長度1m，可伸縮）
控制箱：KS-3101-B05（帶大氣側(cè)電纜5M，可擴展）
控制器 ： KSD-0110 或 KSD-0120
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* 請自行準(zhǔn)備真空法蘭。
配置
控制器
與觸摸屏和SD卡兼容的高性能類型
強調(diào)可見性的簡單類型
* 請在各自的頁面上查看控制器 KSD-0110 和 KSD-0120 的規(guī)格。
每個零件的尺寸和名稱
（1） 測量部分 （2） 零點調(diào)節(jié)單元 （3） 外殼（不銹鋼鏡面） （4） 安裝墊片（特氟龍） （5） 量程選擇開關(guān)
（6） 操作/故障指示燈 （7） 充電指示燈 （0， +， -） （8） 專用電纜
（帶連接器）
2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!
