A-52-ST-EL 晶圓化學(xué)鍍機(jī)

這是一種用于在硅片和板狀樣品上進(jìn)行化學(xué)鍍的裝置。 電鍍是通過(guò)在旋轉(zhuǎn)時(shí)上下擺動(dòng) 1~多個(gè)晶圓來(lái)進(jìn)行的。
旋轉(zhuǎn)速度和垂直擺動(dòng)速度可分別調(diào)節(jié)。 它還可用于電鍍以外的應(yīng)用，例如清潔過(guò)程。

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