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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:SHINKUU真空設(shè)備磁控降低污染物附著力

  • 產(chǎn)品型號:TVS-40T
  • 產(chǎn)品廠商:SHINKUU真空設(shè)備
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
該設(shè)備將 TEM 支架存放在無油真空下。 通過使用該設(shè)備,可以顯著降低污染物的附著力。 它存放在單獨的真空室中,可以單獨進出。 TEM 支架端口是根據(jù)您使用的 TEM 支架制造的。
詳情介紹:

關(guān)于TEM Holder
配備 4 個 TEM 支架端口。 創(chuàng)建一個與您的支架相匹配的端口。 可以處理TEM制造商的特殊支架。
得益于獨立的排氣系統(tǒng),當更換支架時,其他存儲支架不會暴露在大氣中。 帶有玻璃窗,透過該窗口可以看到每個支架樣品(NW40 法蘭)

操作
配備觸摸屏,操作方便。 配備自動排氣排序和程序控制聯(lián)鎖控制。
當泵計劃進行維護時,我們將通過在屏幕上顯示來通知您。

主要產(chǎn)品規(guī)格

項目 規(guī)范
權(quán)力 AC100V、10A。 使用帶地線的 3 芯插頭。
設(shè)備大小 寬度 585 mm,深度 555 mm,高度 392 mm(深度尺寸因 TEM 支架而異)
(設(shè)備重量:36 kg)
排氣系統(tǒng) 20L/min隔膜泵(外置) 67L
/sec渦輪分子泵(內(nèi)置設(shè)備)
*大真空度 5x10-4Pa以下
真空度測量 全范圍真空計

關(guān)于選項

燈加熱裝置
加熱方式:采用帶凹面鏡的鹵素燈加熱。
散熱方式:風機風冷散熱。
溫度控制:熱電偶測溫PID控制,帶電子定時開關(guān)。
控制電源尺寸:535 W x 550D x 185 H
等離子清洗裝置
電源:AC100V(單相100V)3A,3芯插頭,帶地線
清洗目標:去除污染物,防止電子束照射沉積的粘附。
氣體介紹:針閥手動調(diào)節(jié),電磁閥為氣體推桿ON/OFF方式
等離子氣體:空氣、氬氣、氬氣/氧氣等。 **
措施: 每個系統(tǒng)的
保險絲 等離子電源:頻率 13.56 MHz,輸出 0 ~ 50 W 可變,輸出指示 帶
等離子點火指示燈的數(shù)字儀表,等離子照射時間控制電子
定時器:0~1,2,3,12,30/秒,分鐘,小時 各自由設(shè)置.電子定時器
等離子電源尺寸:250W x 300D x 135H 重量 9Kg
等離子噴槍尺寸:70mmΦ x 220L 等離子噴槍安裝 NW-40
氣體:0.08~0.1 MPa,管道 1/4“ Swagelock(氣瓶和減壓閥由用戶準備)

* 由于 TEM 支架的形狀,燈加熱和等離子清洗裝置端口的使用受到限制。
特別是,不可能共享來自不同制造商的持有人。

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