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日本進(jìn)口大塚的橢圓偏光測(cè)量?jī)xFE-5000S（PXM28）
日期：2024-11-23 13:14
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摘要：使用環(huán)境
設(shè)置場(chǎng)所：屋內(nèi)設(shè)置（避免太陽(yáng)光直射）
周圍環(huán)境：無(wú)傾斜，異常震動(dòng)，灰塵，有害氣體，溫度變動(dòng)，
電源變動(dòng)，磁場(chǎng)噪音，不會(huì)接觸液體，沒(méi)有起火
物質(zhì)。
高度界限：標(biāo)準(zhǔn)高度2000m
周圍溫度：20-30℃（無(wú)劇烈的溫度變化）
相對(duì)濕度：30-80%（無(wú)結(jié)露）
噪 音：60dB以下（距離設(shè)備測(cè)量1m的距離測(cè)量）
日本進(jìn)口大塚的橢圓偏光量測(cè)儀FE-5000S（PXM28）
顯微分光膜厚儀
對(duì)應(yīng)多種膜的解析計(jì)算方法
● *小二乘法
通過(guò)優(yōu)良反射率測(cè)量和薄膜模擬的fitting，可解析目標(biāo)膜的膜厚和
光學(xué)常數(shù)（n:折射率，k:消光系數(shù)）。
也可對(duì)應(yīng)層疊結(jié)構(gòu)
● *適合法
在設(shè)定的膜厚范圍內(nèi)，進(jìn)行薄膜模擬，可自動(dòng)演算光譜形狀*高
膜厚值的手法?？蓪?duì)應(yīng)多層level的層疊結(jié)構(gòu)。
● 周期解析（FFT法）
通過(guò)傅里葉變換計(jì)算光干涉的光譜波形的周期性，可自動(dòng)演算膜厚的
膜厚值。即便沒(méi)有基板信息，也可解析，此外，還能對(duì)應(yīng)多層level
的層疊結(jié)構(gòu)
● P（V 峰谷法）
以光干涉法為原理的解析手法。通過(guò)輸入單層膜的折射率，即便沒(méi)
基板信息，可以自動(dòng)演算膜厚值。
可在測(cè)量的反射率的峰值（谷值）在2個(gè)以上時(shí)使用。
