紫外線清洗

紫外光清洗的工作原理

紫外光清洗技術(shù)是利用有機(jī)化合物的光敏氧化作用達(dá)到去除黏附在材料表面上的有機(jī)物質(zhì)，經(jīng)過(guò)光清洗后的材料表面可以達(dá)到“原子清潔度”。更詳盡的講：UV光源發(fā)射波長(zhǎng)為185nm和254nm的光波，具有很高的能量,當(dāng)這些光子作用到被清洗物體表面時(shí),由于大多數(shù)碳?xì)浠衔飳?duì)185nm波長(zhǎng)的紫外光具有較強(qiáng)的吸收能力,并在吸收185nm波長(zhǎng)的紫外光的能量后分解成離子、游離態(tài)原子、受激分子和中子，這就是所謂光敏作用?？諝庵械难鯕夥肿釉谖樟?85nm波長(zhǎng)的紫外光后也會(huì)產(chǎn)生臭氧和原子氧。臭氧對(duì)254nm波長(zhǎng)的紫外光同樣具有強(qiáng)烈的吸收作用,臭氧又分解為原子氧和氧氣。其中原子氧是極活潑的,在它作用下,物體表面上的碳和碳?xì)浠衔锏姆纸馕锟苫铣煽蓳]發(fā)的氣體：二氧化碳和水蒸氣等逸出表面，從而徹底**了黏附在物體表面上的碳和有機(jī)污染物。清洗時(shí)，使基板治濕性向上。玻璃基板是以滾輪方式輸送，上方裝置低壓水銀燈產(chǎn)生紫外線照射。玻璃基板所累積紫外線能量愈多，其表面水接觸愈小，成反比關(guān)系。一般STN-LCD制作過(guò)程中，需求的玻璃基板累積紫外線能量為300nj/cm2(253.7nm)以上。而彩STN-LCD及彩色濾光片制作過(guò)程中，要求的玻璃基板累積紫外線能量600mj/cm2(253.7nm)。 

適用范圍

液晶顯示器件、觸摸屏、半導(dǎo)體硅芯片、集成電路、高精度印制電路板、光學(xué)器件、石英晶體、密封技術(shù)、帶氧化膜的金屬材料

主要材料：ITO玻璃、光學(xué)玻璃、鉻板、掩膜板、拋光石英晶體、硅芯片和帶有氧化膜的金屬等進(jìn)行精密清洗處理?？梢匀コ酃福河袡C(jī)性污垢、人體皮脂、化妝品油脂、樹脂添加劑及聚酰亞胺、石蠟、松香、潤(rùn)滑油、殘余的光刻膠等

使用紫外線清洗時(shí)要注意以下幾個(gè)方面：（1） 污垢中的無(wú)極成分或處理后的灰分會(huì)殘留在物體表面，因此需要采用相應(yīng)的辦法進(jìn)一步**，如加裝真空除塵或與超聲波干洗配套使用。（2）處理時(shí)，當(dāng)清洗對(duì)象表面與照射光源距離稍遠(yuǎn)時(shí)，產(chǎn)生的臭氧會(huì)自動(dòng)分解失去作用，一定要注意清洗表面與光源的距離，也就是注意平臺(tái)或傳送帶上工件的高度或厚度。（3）這種處理方法要求紫外線能透過(guò)清洗對(duì)象表面，對(duì)有立體結(jié)構(gòu)的清洗對(duì)象不太適合，只能清洗表面結(jié)構(gòu)的物體。（4）由于需防止臭氧擴(kuò)散對(duì)人體造成損害，需要在封閉裝置中進(jìn)行清洗。（5）由于臭氧是通過(guò)氧化反應(yīng)去除污垢的，所以容易被氧化的表面不能用這種方法處理。

1光清洗產(chǎn)品

1-1燈管

SUV90UH-34，SUV90UH-42，SUV90US-43，SUV90UH-43，SUV90UH-52

SUV90UH-88，SUV90US-88，SUV90US-93L，SUV90UH-A0，SUV90UH-A2

SUV90US-53，SUV90UH-53

SUV90US-99，SUV90UH-99

SUV110US-43，SUV110UH-43，SUV110US-88，SUV110UH-88

SUV110US-53，SUV110UH-53

SUV110US-99，SUV110UH-99

EUV200US，EUV200UH

EUV200NS，EUV200NH

SUV110GS-36，EUV200GS-14

SUV110PL-23A，EUV200PL-19

MSW-90

EUV250WH-1L，EUV200US-77，EUV200US-43

SUV110UH-94，SUV110US-59，SUV110US-42，SUV110US-77

SUV110UH-34

SUV110DL-10

SUV90DL-10

SUV40GS-65，SUV40DL-2

筆式燈特種燈

SP-3-2H，SP-3-2L

SP-5-2H，SP-5-2L

SL5DH，SL5UH-4

1-2實(shí)驗(yàn)室小型設(shè)備

PL16 PL17 PL21 PM2003

1-3大型生產(chǎn)設(shè)備

1-3-1抽屜式

PM906B

PM908B

PM11010B

1-3-2傳送帶式

PM9020C

PM9010C

PM11010C

PM20036C

1-4安定器/電源

SEU1002B3(200V)

SEU1101B(100V)  HB100A-1

SEU2002SB

SEU2002WB

UVB110(桌上型電源)

UE1101N-19 (PL16用電源)

UVE-200J (PL21用電源)

2光固化產(chǎn)品

2-1普通高壓汞燈

HL100G HL400DL HL1000DL-15 HL2000DL HL3000DL

2-1-1手提式

HLR100T-2  HLR400T-1 HLR400F-21~28 HLR1000T-1 HLR1000F-21~28

2-1-2桌面式

HCT400B-25/28 HCT1000B-25~28

2-1-3傳送帶式

HCC400B-25/28 HCC1000B-25~28

2-2金鹵燈

HM1500DH-3  HM3000DH-3

2-2-1手提式

MLR1500B-23/28 MLR3000B-23~28

2-2-2桌面式

MCT1500-24/28

2-2-3傳送帶式

HM15001C-2

安定器/電源

2-4電源

HB100A-1 HB100A-2（手提式HLR100T-2電源）

HB400A-5（手提式HLR400T-1用電源）

HB1000A-5(手提式HLR1000T用電源)

3光化學(xué)產(chǎn)品

3-1光化學(xué)燈管

HL100CH-14   HL400BH   HL1000JH   HL1000W   HL2000J
小型準(zhǔn)分子照射裝置，準(zhǔn)分子清洗機(jī)XPL-1502-X
周呈亮：13717022388

基本樣式