日本USHIO牛尾準分子燈126nm／146nm／172nm／222nm／308nm

【126nm／146nm／172nm／222nm／308nm】

封入氙氣的準分子(Excimer)燈，（誘電體屏障放電Excimer燈）

可有效放射波長180nm以下的VUV，（真空紫外線）

達到快速的化學(xué)反應(yīng)與反應(yīng)速度。

特征：

• 單一波長、低溫處理
• 因為是單一波長，因此可選擇會引起化學(xué)反應(yīng)的紫外線，
• 并可達到不使對象物產(chǎn)生非必要反應(yīng)或熱的低溫處理。

• 高效率
• 從電力轉(zhuǎn)換為光能源的效率高（172nm型的轉(zhuǎn)換率10%)，
• 即使低電力亦可產(chǎn)生大的能量。

• 可瞬間亮燈滅燈
• 僅于必要時照射必要量的能量，
• 因此具備「不需要快門」、「實際上可延長使用壽命」等各種優(yōu)點。

• 安裝方向不受限制
• 燈的亮燈方向不受限制，可配合生產(chǎn)線做立面照射。

分光分布

半導(dǎo)體制程用裝置實例

液晶制程用裝置實例

主要用途：

• HDD光碟洗凈

• 阻劑剝離

• 阻劑殘渣的剝離

• 塑料基板的洗凈

• 金屬表面的清洗與重組

• Low-k Cure

• PDP螢光體評估

• 分析評估前的洗凈

• 氣體分解

• 形成氧化膜

• 防止帶電

• 干燥

• 玻璃膠膜的貼合

• 纖維的改質(zhì)

• 有機EL封裝管的接合性提高

• 有機EL的工作函數(shù)増加