長處

• 由于單個控制器*多可以連接2通道的寬電位傳感器（KS-2100），因此可以低成本構(gòu)建靜電監(jiān)測系統(tǒng)。
• 由于傳感器部分很小，因此可以安裝在各種制造設(shè)備的狹窄位置，并且可以連續(xù)監(jiān)控。
• 由于可以設(shè)置警報，因此當超過設(shè)定的電位時，可以與各種制造設(shè)備連接。
• 配備新開發(fā)的表面電位傳感器故障診斷電路，可快速檢查因撞擊等原因造成的傳感器故障，并輸出到外部。
• 它還可用于檢查和管理電離器的有效性。
• 范圍切換可實現(xiàn)從低電位到高電位的寬范圍測量。

用

• 平板顯示器生產(chǎn)過程中的裝料量監(jiān)控。
• 半導(dǎo)體晶圓電荷量監(jiān)測。
• 監(jiān)控LSI處理和PCB運輸過程中的電荷量。

配置

項目	格式	言論
物質(zhì)	KSD-0120
安裝支架		包含在主機中
傳感器	KS-2100	可選，*多可以使用 2 個單元
專用交流適配器	交流適配器 KSD-0120	選擇

規(guī)范

物質(zhì)

型	KSD-0120
顯示范圍	范圍（1） ±1~±1999V 范圍（2） ±0.01~±19.99kV
模擬輸出	0~±5V
控制設(shè)置	2通道獨立設(shè)置
控制輸出	集電極開路（控制設(shè)置輸出和傳感器故障輸出）
權(quán)力	DC12~24V或 專用交流適配器（AC100V/可選）
電流消耗	500毫安（直流12~24V）
環(huán)境	溫度0~40°C，濕度65%RH以下（無冷凝）
質(zhì)量	約580g（含安裝支架）

專用交流適配器（可選）

型	交流適配器 KSD-0120
輸入電壓	交流100V 50/60赫茲
輸出電壓	直流12V
電纜長度	1580毫米
質(zhì)量	約385g

傳感器（可選）

型	KS-2100
檢測方法	振動表面電位傳感器
測量范圍	范圍（1） ±1~±2000V 范圍（2） ±0.01~±20.00kV
模擬輸出	0~±5V
測量精度	± 10% 以內(nèi)
測量參考距離	范圍（1） 10毫米 范圍（2） 50毫米
報警	檢測傳感器故障LED顯示屏，外部輸出
權(quán)力	由 KSD-0120 提供
環(huán)境	溫度0~40°C，濕度65%RH以下（無冷凝）
質(zhì)量	約100g（不含電纜）
附屬品	專用電纜 5m（可延長至 100m）

每個零件的尺寸和名稱（尺寸單位 [mm]）

物質(zhì)

傳感器