在真空中，減輕靜電的氣體成分**，因此靜電會導(dǎo)致比大氣壓環(huán)境中更嚴(yán)重的生產(chǎn)問題。

真空兼容靜電勢傳感器是可用于測量真空中產(chǎn)生的靜電的傳感器，使用可在真空環(huán)境中使用的材料和組件。 使用它來確定真空過程中產(chǎn)生靜電的原因，并持續(xù)監(jiān)測靜電勢。

特性

大氣壓和真空下的線性度

該圖顯示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意電壓的充電板電位的測量結(jié)果。 即使在不同的壓力環(huán)境下（真空下10-3Pa，大氣壓下10+5Pa），無需校準(zhǔn)即可獲得相同的讀數(shù)。

* 此數(shù)據(jù)為實(shí)際測量值，并非保證值。

測量真空兼容靜電勢傳感器對真空室的影響

●除氣分析比較

對傳感器發(fā)出的釋氣的分析證實(shí)，氣體的主要成分是水和微量的碳?xì)浠衔铩?由于每個(gè)峰與背景中測量的峰相同，因此認(rèn)為它來自從環(huán)境中吸附在傳感器表面的氣體。

●可達(dá)到的真空度比較

排氣系統(tǒng)：渦輪分子泵TG220FCAB大阪真空設(shè)備制造株
式會社 抽速：220升/秒（N2）
腔室尺寸：φ300×升300mm

* 此數(shù)據(jù)為實(shí)際測量值，并非保證值。

規(guī)范

* 請自行準(zhǔn)備真空法蘭。

配置

控制器

KSD-0110

與觸摸屏和SD卡兼容的高性能類型

KSD-0120

強(qiáng)調(diào)可見性的簡單類型

* 請?jiān)诟髯缘捻撁嫔喜榭纯刂破?KSD-0110 和 KSD-0120 的規(guī)格。

每個(gè)零件的尺寸和名稱

（1） 測量部分 （2） 零點(diǎn)調(diào)節(jié)單元 （3） 外殼（不銹鋼鏡面） （4） 安裝墊片（特氟龍） （5） 量程選擇開關(guān)
（6） 操作/故障指示燈 （7） 充電指示燈 （0， +， -） （8） 專用電纜


（帶連接器）