產品詳情
簡單介紹：
這是一款用于2~12英寸硅片的電鍍設備。
通過使用專用夾具，可以進行半導體和MEMS的精密電鍍。 它具有從罐底產生溫和對流的結構，同時不斷過濾和溢流，并且有兩種類型的溢流：單側溢流型和雙側溢流型，可實現(xiàn)高速攪拌。 槳式攪拌用于直接攪拌。
詳情介紹：
它也可以用作生產設施。
此外，在日本和海外已獲得多項**，其他幾項申請正在申請中。 *PC 單獨出售
基板材料
它不僅可以用于硅晶圓，還可以用于由碳化硅、玻璃、砷化鎵和磷化銦等材料制成的襯底。
關于定制生產
在標準設備的基礎上，可根據(jù)客戶樣品定制形狀的夾具或雙面電鍍夾具。 我們還擁有陽極氧化和陽極氧化夾具等制造設備的良好記錄。 夾具也有類型，例如全封閉夾具、非密封夾具和臥式夾具，請隨時與我們聯(lián)系。
設置細分
A-52-ST□AWJYPPA 硅晶圓電鍍實驗室設備套裝 WJ 型（用于 YPP 電源）
| 產品編號 | 產品名稱 | 數(shù)量 |
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A-52-ST□-P01A型 |
硅片水箱（亞克力雙底型） | 1 |
| A-52-ST□-P02A型 | 硅晶圓用陰極盒（標準型）（*1） | 1 |
| A-52-ST□-P09A型 | 硅晶圓用陽極支架（帶拉絲陽極背面）（*2） | 1 |
| A-52-ST□-P04D | 槳葉式攪拌器 | 1 |
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B-90-A20-APFA05/ |
迷你迷你過濾器 20APFA 型（2-6英寸用） 迷你迷你過濾器 40APFWJ（用于 8 英寸） |
1 |
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編號：A-63-M202 編號：B-92-M10-P04A |
氣泵 M202 （AC100V） （2-4寸） 10L水箱氣泵 （5-8寸） |
1 |
| 編號：A-52-P18 | 空氣濾清器 | 1 |
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A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A |
WJ2型威化水族加熱器（2英寸） 300W PFA涂層加熱器（AC100V） 300W石英小型浸入式加熱器WJB（5-6英寸） 500W石英加熱器（8英寸） |
2 1 3 3 |
| – | 溫度傳感器，加熱器停止 | 1 |
（*1） 請從Orifra型/缺口型中選擇。 也有密封/吸氣密封型。
（*2） 膜片型也可用于不溶性陽極。
（*3） 產品編號上的□標記包含英寸數(shù)。
這是一套用于 YPP 電源的。 電源、溫度控制器和陽極板單獨出售。 請分別指定 A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D 的電源。 PC 單獨出售。
強力攪拌水箱（雙面溢流式，攪拌速度約2倍）
通過將溢流從一側減少到兩側，槳葉攪拌速度已提高到*大 1 rpm。 提高了液體的混合效率，可以更穩(wěn)定地鍍層。 此外，還增加了液體防濺結構。
| 產品編號 | 產品名稱 | 數(shù)量 |
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A-52-ST□-U型 |
硅片水箱（亞克力雙底型） | 1 |
- 它目前是按訂單生產的產品。 請聯(lián)系我們了解尺寸和規(guī)格。
- 根據(jù)鍍層的類型和尺寸，我們可能會提出三面溢流型。
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