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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:SHINKUU日本真空設備濺射設備標準型號

  • 產(chǎn)品型號:MSP-1S
  • 產(chǎn)品廠商:SHINKUU真空設備
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
這是一種用于SEM樣品的金屬涂層系統(tǒng)。
詳情介紹:

該設備專用于用于SEM觀察的貴金屬薄膜涂層。 這是一種進

行貴金屬涂層的裝置,可防止SEM樣品充電并提高二次電子生成的效率。 除了磁控管靶電極的低壓放電外,樣品架還由浮動系統(tǒng)制成,以減少由于電子束流入而造成的樣品損壞。 操作簡單,只需按一個按鈕,沒有技巧或壞處。 它很小,不占用太多空間。 它可以在桌子的角落里工作。

這是一種用于SEM樣品的金屬涂層系統(tǒng)。

主要產(chǎn)品規(guī)格

項目 規(guī)范
權(quán)力 AC100V(單相100V10A)3P插頭,帶接地1件
旋轉(zhuǎn)泵 10L/min(內(nèi)置于設備中)
設備大小 寬200mm x 深350mm x 高345mm
(設備重量:14.6Kg)
試樣室尺寸 內(nèi)徑 120 mm x 高度 65 mm (硬玻璃)
試樣底座尺寸 直徑50mm(浮動方式)
電極與樣品的間距 35 mm(使用輔助樣品架時為 25 mm)
目標電極 內(nèi)置永磁體的磁控管型靶電極
目標金屬規(guī)格 Φ51mm,厚度0.1mm
Pt,Pt-Pd,Au,Au-Pd,Ag
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