根據(jù)涂層面積的差異，可提供 12 英寸型和 12S 型！
MSP-12in
目標尺寸的直徑為 12 英寸（直徑 300 毫米），可均勻地覆蓋整個 12 英寸晶圓。 它可用于涂布大面積和涂布大量樣品。
MSP-12S
目標電極的直徑為 50 mm。 當您想要涂覆大面積樣品的一部分（例如 12 英寸晶圓）時，可移動目標非常有用。 通過減小電極的尺寸，可以降低運行成本。 也不需要裂解大型晶圓。
主要產(chǎn)品規(guī)格
有關(guān)氬氣設(shè)備的信息
項目
規(guī)范
權(quán)力
帶地線的單相 AC100V15A 3 芯插頭
設(shè)備大小
寬 450 mm，深 440 mm，高 427 mm
（設(shè)備重量 30 kg）
旋轉(zhuǎn)泵
G-101D 寬 234 毫米，深 500 毫米，高 264 毫米，重量
25Kg
涂裝室尺寸
內(nèi)徑330mm，高80mm
目標電極尺寸
直徑 300mm
樣品臺
直徑 300mm
2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!
