產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
配備大面積樣品臺，支持12英寸晶圓。 磁控管系統(tǒng)用于減少涂層電壓為500V或更低時的離子損傷。
自動涂裝功能從脫氣到常壓氣體引入和涂裝都是全自動的。
它配備了一個向前滑動的樣品臺，便于裝卸樣品。 通過附著Ag靶材，可以很容易地對透明薄膜進行光澤處理。
詳情介紹：
根據(jù)涂層面積的差異，可提供 12 英寸型和 12S 型！
MSP-12in
目標尺寸的直徑為 12 英寸（直徑 300 毫米），可均勻地覆蓋整個 12 英寸晶圓。 它可用于涂布大面積和涂布大量樣品。
MSP-12S
目標電極的直徑為 50 mm。 當您想要涂覆大面積樣品的一部分（例如 12 英寸晶圓）時，可移動目標非常有用。 通過減小電極的尺寸，可以降低運行成本。 也不需要裂解大型晶圓。
主要產(chǎn)品規(guī)格
| 項目 | 規(guī)范 |
| 權(quán)力 | 帶地線的單相 AC100V15A 3 芯插頭 |
| 設(shè)備大小 |
寬 450 mm，深 440 mm，高 427 mm （設(shè)備重量 30 kg） |
| 旋轉(zhuǎn)泵 |
G-101D 寬 234 毫米，深 500 毫米，高 264 毫米，重量 25Kg |
| 涂裝室尺寸 | 內(nèi)徑330mm，高80mm |
| 目標電極尺寸 | 直徑 300mm |
| 樣品臺 | 直徑 300mm |
AR氣體的制備
氬氣介紹 一些真空設(shè)備設(shè)備需要引入氬氣作為大氣氣體，而其他設(shè)備則被推薦使用。 在氣體引入設(shè)備中，它是客戶準備的產(chǎn)品，因此，如果您能參考以下內(nèi)容進行準備，我們將不勝感激。
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