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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:SHINKUU真空設(shè)備清潔高真空沉積系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:VE-2050
  • 產(chǎn)品廠商:SHINKUU真空設(shè)備
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
樣品制備的下一步從清潔的高真空開始。 這是一種使用渦輪分子泵 (TMP) 排氣系統(tǒng)的清潔高真空沉積系統(tǒng)。 高真空有助于提高薄膜純度和密度。 如果按下觸摸面板上的 EVAC START 按鈕,系統(tǒng)會自動執(zhí)行從預(yù)排氣到高真空排氣的狀態(tài)。 它是一種**設(shè)計,可通過觸摸屏+程序控制防止操作錯誤。
詳情介紹:

VE-2050 提供各種可選附件。 我們還接受根據(jù)您的研究目的對功能進行額外修改。

特征

加熱器電源:*大電流80A(使用標準船時),電流表指示。
?真空排氣系統(tǒng)是由80L/sec TMP+50L/min RP和不需要冷卻水的全電磁閥組成的全自動排氣系統(tǒng)。
? 配備觸摸屏操作無法通過錯誤程序操作的**功能。
TEM和SEM擠壓的烘烤也可以在短時間內(nèi)完成,節(jié)省時間。
?金屬涂層和陰影是超細顆粒沉積,提高分辨率。
?碳涂層也是一種堅固而致密的氣相沉積膜。 它有效地增強了碳并支持了薄膜的形成。
在停電的情況下,所有閥門都會自動關(guān)閉并保持真空。 只有旋轉(zhuǎn)泵會自動泄漏。
恢復(fù)斷電后,返回初始屏幕。
輸入開關(guān)是電路保護器。 如果設(shè)備中發(fā)生過電流,它將自動關(guān)閉。

主要產(chǎn)品規(guī)格

項目 規(guī)范
權(quán)力 AC100V(單相100V15A)
設(shè)備大小 寬度 534 mm,深度 675 mm,高度 1134 mm
(設(shè)備重量 80 kg)
旋轉(zhuǎn)泵(內(nèi)置裝置) 抽速:50l/min(G-50DA)
渦輪泵(內(nèi)置裝置) 抽速:67升/秒
真空度測量 全范圍真空計
樣品臺 直徑 58mm 水平樣品架(標準安裝)
真空室 200mm 內(nèi)徑 x 248mm 高度 配備
ICF70 服務(wù)端口。
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