產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
樣品制備的下一步從清潔的高真空開始。
這是一種使用渦輪分子泵 (TMP) 排氣系統(tǒng)的清潔高真空沉積系統(tǒng)。 高真空有助于提高薄膜純度和密度。
如果按下觸摸面板上的 EVAC START 按鈕,系統(tǒng)會自動執(zhí)行從預(yù)排氣到高真空排氣的狀態(tài)。 它是一種**設(shè)計,可通過觸摸屏+程序控制防止操作錯誤。
詳情介紹:
VE-2050 提供各種可選附件。 我們還接受根據(jù)您的研究目的對功能進行額外修改。
特征
加熱器電源:*大電流80A(使用標準船時),電流表指示。
?真空排氣系統(tǒng)是由80L/sec TMP+50L/min RP和不需要冷卻水的全電磁閥組成的全自動排氣系統(tǒng)。
? 配備觸摸屏操作無法通過錯誤程序操作的**功能。
TEM和SEM擠壓的烘烤也可以在短時間內(nèi)完成,節(jié)省時間。
?金屬涂層和陰影是超細顆粒沉積,提高分辨率。
?碳涂層也是一種堅固而致密的氣相沉積膜。 它有效地增強了碳并支持了薄膜的形成。
在停電的情況下,所有閥門都會自動關(guān)閉并保持真空。 只有旋轉(zhuǎn)泵會自動泄漏。
恢復(fù)斷電后,返回初始屏幕。
輸入開關(guān)是電路保護器。 如果設(shè)備中發(fā)生過電流,它將自動關(guān)閉。
主要產(chǎn)品規(guī)格
項目 | 規(guī)范 |
權(quán)力 | AC100V(單相100V15A) |
設(shè)備大小 |
寬度 534 mm,深度 675 mm,高度 1134 mm (設(shè)備重量 80 kg) |
旋轉(zhuǎn)泵(內(nèi)置裝置) | 抽速:50l/min(G-50DA) |
渦輪泵(內(nèi)置裝置) | 抽速:67升/秒 |
真空度測量 | 全范圍真空計 |
樣品臺 | 直徑 58mm 水平樣品架(標準安裝) |
真空室 |
200mm 內(nèi)徑 x 248mm 高度 配備 ICF70 服務(wù)端口。 |
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