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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:TF-21 系列ENERGY氧氣分析儀

  • 產(chǎn)品型號:SH-304
  • 產(chǎn)品廠商:ENERGY
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
TF-21 系列ENERGY氧氣分析儀SH-304 北崎正在熱賣
詳情介紹:


TF-21 系列ENERGY氧氣分析儀SH-304


TF-21 系列ENERGY氧氣分析儀SH-304

TF-21D201/SH-30 系列

用法

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備:擴散爐、RTP、各種N2 爐氣氛測量、空氣分離設(shè)備

規(guī)格

形式 TF-21D201 (TF-21型傳感器 + DTF-201型接收器)
傳感器 TF-21 系列
接收器 DTF-201 系列
測量原理 氧化鋯燈罩電池工法
測量范圍 *小 0-10ppm ~ *大 0-100% 零點固定,任意 4 個范圍可選
校對 空氣點 + MAX.4 點校準(zhǔn)
強度 DC4~20mA × 1 點(非隔離輸出,負(fù)載電阻 600Ω 以下)
DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 點選擇(非隔離輸出)
樣氣 / 校準(zhǔn)氣體流速 0.5±0.02升/分鐘
準(zhǔn)確性 重復(fù)性 ±1%FS (小于 0~1% 范圍) ±0.5%FS (高于 0~1% 范圍)
線性 ±1%FS (0~1% 以上) ± 2%FS (小于 0~1%) ±3%FS (小于 0~100ppm)
響應(yīng)時間 0-1% 或更高:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 * 校準(zhǔn)氣體切換的 90% 響應(yīng)
漂移 ±2%FS/周或更低
電源 AC85~132V *選項:AC170~264V,DC24V±10%
聯(lián)系人輸入 (非電壓觸點輸入) 范圍切換輸入
觸點輸出
(集電極開路輸出,25
VDC,*大 50 mA
NO/NC 可切換)
分析儀 異常
范圍 回聲(2 個量程識別)
范圍 回聲(3 個量程識別)
READY 濃度上限
警報(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 濃度下
限警報(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置)
* 可從上述選項中選擇 4 個點,并可以更改設(shè)置。
范圍切換 本地范圍切換 / 遠(yuǎn)程范圍切換 / 自動范圍切換
* 您可以從上述設(shè)置中選擇和更改設(shè)置。
輸出 HOLD 設(shè)置 無 或 任意 值或 HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * 預(yù)熱、傳感器和接收器異常時 HOLD
濃度上限和下限警報 上限警報:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
下限警報:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
RS232C 通訊功能 傳輸測量狀態(tài)、錯誤代碼、測量范圍和測量值
通信電纜規(guī)格:直線電纜
形式 SH-304 型
傳感器 TF-21 系列
接收器 DTF-201 系列
測量原理 氧化鋯燈罩電池工法
測量范圍 0-10 / 100 / 1,000ppm,0-100%
**小 0-10ppm ~ *大 0-100% 零點固定,可任意 4 個范圍
校對 空氣點 + MAX.4 點校準(zhǔn)
強度 DC4~20mA × 1點(非隔離輸出、負(fù)載電阻600Ω以下)
DC0~1V × 1點(非絕緣輸出)
樣氣 / 校準(zhǔn)氣體流速 0.3±0.05 升/分鐘
準(zhǔn)確性 重復(fù)性 ±1%FS (小于 0~1% 范圍) ±0.5%FS (高于 0~1% 范圍)
線性 ±3%FS (小于 0~100ppm) ±2%FS (小于 0~1%) ±4%FS (0~1% 或更高)
響應(yīng)時間 0-1% 或更高:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 * 校準(zhǔn)氣體切換的 90% 響應(yīng)
漂移 ±2%FS/周或更低
電源 直流24V±10%
聯(lián)系人輸入 (非電壓觸點輸入) 范圍切換輸入
觸點輸出
(集電極開路輸出,25
VDC,*大 50 mA
NO/NC 可切換)
分析儀異常
READY 濃度上限警報
(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 濃度
下限警報 (0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置)
范圍 回聲 (2 個范圍識別)
范圍回顯(3 范圍識別)
* 前 4 項是標(biāo)準(zhǔn)項,后 2 項也可以更改。
范圍切換 自動量程切換
* 也可以選擇遠(yuǎn)程量程和本地量程切換,并且可以更改設(shè)置。
輸出 HOLD 設(shè)置 HOLD 在異常發(fā)生前 5 秒的值 * HOLD
* 傳感器和接收器異常時保持
* 無 HOLD,任何值都可以選擇 HOLD。
濃度上限和下限警報 上限警報:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
下限警報:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
RS232C 通訊功能 傳輸測量狀態(tài)、錯誤代碼、測量范圍和測量值
通信電纜規(guī)格:直線電纜


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