產品詳情
簡單介紹:
接觸式/接近式曝光裝置。 牛尾是R&D用裝置專門公司Mikasa在中國頭個總代理店。
詳情介紹:
日本USHIO牛尾MIKASA光刻機MA-10B
設備視頻:https://v.youku.com/v_show/id_XNTk0NzU5MzczNg==.html
產品特征:
●機械手平臺可移動±50 mm,便于對齊
●在可移動的部件上設置傳感器,防止誤操作
●更輕量化的設計 ※與本公司的MA-10比較
●防止面罩掉落的抽板※根據面罩玻璃規(guī)格制造
●適配不規(guī)則尺寸的基板*根據基板樣式真空吸附
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各種曝光研究(硅膠、玻璃、化合物)
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