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日本USHIO牛尾分割投影光刻機(jī) Ushio一直致力于為服務(wù)器、PC、智能手機(jī)、平板電腦等便攜設(shè)備提供*先進(jìn)的封裝應(yīng)用工藝。 Ushio在長(zhǎng)年培養(yǎng)的光源·光學(xué)技術(shù)上采用獨(dú)自的大面積投影透鏡技術(shù)，是面向采用與面板尺寸對(duì)應(yīng)的工件臺(tái)面的封裝基板的步進(jìn)式投影光刻設(shè)備。 在實(shí)現(xiàn)*頂端封裝基板所要求的高解像性和重疊精度的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)性。 查看詳情
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日本USHIO牛尾RtoR投影式光刻機(jī) 通過(guò)采用高輸出燈管，優(yōu)異的光學(xué)技術(shù)投影鏡頭，來(lái)實(shí)現(xiàn)高效高解析度的曝光。 查看詳情
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日本USHIO牛尾投影式光刻機(jī) 牛尾長(zhǎng)年開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)，集光源?光學(xué)技術(shù)，采用獨(dú)自的大面積投影鏡頭技術(shù)研發(fā)的背投式對(duì)準(zhǔn)光刻設(shè)備。 到8英寸為止的晶片可在非接觸下模式下也可以一起對(duì)準(zhǔn)光刻曝光。 適用于深度焦點(diǎn)非平面晶片，實(shí)現(xiàn)接近式曝光為數(shù)不多的高生產(chǎn)性、高成品率。 查看詳情
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日本USHIO牛尾曬版機(jī) 集結(jié)實(shí)現(xiàn)高精度的特征和性能 搭載真空系統(tǒng)，減少屏幕的歪斜 特別設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)，提高配合度 采用平行光系統(tǒng)，提高寸法精準(zhǔn)度 控制熱量對(duì)于屏幕的影響，采用排熱設(shè)計(jì) 搭載高精度的積算光量計(jì)，提高反復(fù)曝光的安定化 通過(guò)獨(dú)自的真空系統(tǒng)，小體型也可以完成大尺寸的曝光 查看詳情
