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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):日本USHIO牛尾MIKASA光刻機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):MA-20
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:USHIO牛尾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
接觸式/接近式曝光裝置。 牛尾是R&D用裝置專(zhuān)門(mén)公司Mikasa在中國(guó)頭個(gè)總代理店。
詳情介紹:

日本USHIO牛尾MIKASA光刻機(jī)MA-20

設(shè)備視頻:https://v.youku.com/v_show/id_XNTk0NzU5MzczNg==.html


產(chǎn)品特征:


●機(jī)械手平臺(tái)可移動(dòng)±50 mm,便于對(duì)齊


●在可移動(dòng)的部件上設(shè)置傳感器,防止誤操作

●更輕量化的設(shè)計(jì) ※與本公司的MA-10比較

●防止面罩掉落的抽板※根據(jù)面罩玻璃規(guī)格制造

●適配不規(guī)則尺寸的基板*根據(jù)基板樣式真空吸附



  • 各種曝光研究(硅膠、玻璃、化合物)







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