產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
接觸式/接近式曝光裝置。 牛尾是R&D用裝置專門公司Mikasa在中國頭個(gè)總代理店。
詳情介紹：
日本USHIO牛尾MIKASA光刻機(jī)M-1S
設(shè)備視頻：https://v.youku.com/v_show/id_XNTk0NzU5MzczNg==.html
產(chǎn)品特征：
●機(jī)械手平臺(tái)可移動(dòng)±50 mm，便于對(duì)齊
●在可移動(dòng)的部件上設(shè)置傳感器，防止誤操作
●更輕量化的設(shè)計(jì) ※與本公司的MA-10比較
●防止面罩掉落的抽板※根據(jù)面罩玻璃規(guī)格制造
●適配不規(guī)則尺寸的基板*根據(jù)基板樣式真空吸附
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各種曝光研究（硅膠、玻璃、化合物）
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