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產品詳情

  • 產品名稱：日本USHIO牛尾半導體制程用UV固化設備

  • 產品型號：
  • 產品廠商：USHIO牛尾
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
外線照射設備在LSI制造生產線和內存制造生產線
詳情介紹：

日本USHIO牛尾半導體制程用UV固化設備

  • 主要用途

  • 驅動蝕刻時的耐等離子性的提高

  • 去除電荷

  • 離子注入時的固體脫氣及燒結

  • 絕緣膜的形成

  • 化合物半導體脫離工序

  • CCD、CMOS截圖

  • 提高濕蝕刻性&鍍金性

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