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日本USHIO牛尾紫外線光阻劑硬化／CHARGE ERA... 紫外線照射裝置，在LSI制造生產(chǎn)聯(lián)機使用的紫外線阻劑固化、及電荷消除裝置。 配備超高壓UV燈與EXCIMER燈，應(yīng)用在提升乾蝕刻時的耐電漿性、離子注入時的阻劑脫氣與燒制、電荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各種用途。 查看詳情
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日本USHIO牛尾UV固化照射裝置 適用于TFT-LCD液晶面板的貼合工藝，將液晶面板貼合所用的Seal材料，通過UV紫外線的照射在較短時間內(nèi)進行固化，從而起到了提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本的效果。 液晶面板制造用設(shè)備 查看詳情
