產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
牛尾長年開發(fā)經(jīng)驗，集光源?光學技術(shù)，采用獨自的大面積投影鏡頭技術(shù)研發(fā)的背投式對準光刻設備。
到8英寸為止的晶片可在非接觸下模式下也可以一起對準光刻曝光。
適用于深度焦點非平面晶片，實現(xiàn)接近式曝光為數(shù)不多的高生產(chǎn)性、高成品率。
詳情介紹：
日本USHIO牛尾投影式光刻機UX-4系列
- 搭載超高壓UV燈
- 值得稱贊的高度均一的照射光學系統(tǒng)
- 為數(shù)不多的大面積投影鏡頭
主要用途：
IGBT
分立器件
MEMS
LED
水晶
通信濾波器
射頻器件
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