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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:HORIBA日本堀場(chǎng)先進(jìn)原子力顯微鏡

  • 產(chǎn)品型號(hào):SmartSPM
  • 產(chǎn)品廠商:HORIBA日本堀場(chǎng)
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
SmartSPM掃描探針顯微鏡是**個(gè)100%自動(dòng)化的系統(tǒng),它為所有AFM和STM模式下的納米級(jí)先進(jìn)材料研究提供了快速、計(jì)量和高分辨率測(cè)量的**技術(shù)。SmartSPM可以從達(dá)到100μm范圍掃描到原子級(jí)分辨率掃描。它能夠與光學(xué)光譜(SNOM、Raman、光致發(fā)光和TERS/SERS技術(shù))無(wú)縫耦合。
詳情介紹:

操作完全自動(dòng)化

全自動(dòng)激光-光電二極管準(zhǔn)直

更換針尖簡(jiǎn)單方便

豐富的各種測(cè)量模式

系統(tǒng)調(diào)試速度快

分辨率/穩(wěn)定性/**度

閉環(huán)平板掃描器即可實(shí)現(xiàn)100μm大范圍掃描,也可實(shí)現(xiàn)分子/原子分辨率掃描。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量無(wú)需隔振系統(tǒng)。

低噪音傳感器設(shè)計(jì)保證了在分子分辨率成像過(guò)程中也能打開(kāi)閉環(huán),獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。

快速掃描

采用業(yè)界*高的高共振頻率掃描器(XY>7kHz和 Z>15kHz),優(yōu)化的掃描器控制算法可以輕松實(shí)現(xiàn)快速掃描。

標(biāo)配幾乎所有SPM模式,無(wú)需添加任何附件和額外成本

包括開(kāi)爾文探針顯微鏡,壓電響應(yīng)力顯微鏡,納米蝕刻和納米操縱。

輕松升級(jí)到納米拉曼光譜儀

SmartSPM無(wú)論從軟件設(shè)計(jì)到硬件設(shè)計(jì)都能與拉曼系統(tǒng)進(jìn)行無(wú)縫的耦合。


測(cè)量模式

?空氣中接觸AFM;

?液體接觸AFM(可選);

?空氣中的半接觸原子力顯微鏡;

?液體半接觸原子力顯微鏡(可選);

?真正的非接觸式原子力顯微鏡;

?動(dòng)態(tài)力顯微鏡(DFM、FM-AFM);

?耗散力顯微鏡;

?Top模式;

?相位成像;

?側(cè)向力顯微鏡(LFM);

?力調(diào)制;

?導(dǎo)電原子力顯微鏡(可選);

?I-Top模式(可選);

?磁力顯微鏡(MFM);

?開(kāi)爾文探針(表面電位顯微鏡);

?單通開(kāi)爾文探頭;

?電容顯微鏡(SCM)

?電力顯微鏡(EFM);

?單通道MFM/EFM(“平面掃描”);

?力曲線測(cè)量;

?壓電響應(yīng)力顯微鏡(PFM);

?PFM Top模式;

?納米光刻技術(shù);

?納米操縱;

?STM(可選);

?光電流成像模式(可選);

?伏安特性測(cè)量(可選);

?帶音叉的剪切力顯微鏡(ShFM);

?音叉法向力顯微鏡。

 

SmartSPM掃描器和基座

閉環(huán)平板掃描器: 100 μm x 100 μm x 15 μm (±10 %)

掃描器非線性:XY≤0.05 %; Z≤0.05 %

噪聲水平:XY≤0.1 nm RMS(200 Hz帶寬,電容傳感器打開(kāi));XY≤0.02 nm RMS(100 Hz帶寬,電容傳感器關(guān)閉);Z<0.04 nm RMS (1000 Hz帶寬,電容傳感器開(kāi))

高頻掃描器:XY≥7 kHz; Z≥ 15 kHz

X, Y, Z自動(dòng)趨近:XYZ數(shù)字閉環(huán)控制,Z向馬達(dá)趨近距離18mm

樣品尺寸:40 mm x 50 mm x 15 mm

樣品定位:自動(dòng)樣品臺(tái)范圍:5 mm x 5 mm

定位精度:1μm

 

AFM測(cè)試頭HE001

激光波長(zhǎng):1300nm

激光對(duì)生物樣品無(wú)影響;

激光對(duì)光電測(cè)量無(wú)影響

系統(tǒng)噪聲:< 0.03 nm

全電動(dòng):4步進(jìn)電機(jī)用于懸臂和光電二極管自動(dòng)對(duì)準(zhǔn);

探針通道:為外部操作和探針提供自由通道

頂部和側(cè)向同時(shí)光路通道:帶平消色差物鏡,可同時(shí)10x,NA0.28頂部物鏡和20x,NA0.42側(cè)向物鏡;

 

AFM測(cè)試頭HE002

激光波長(zhǎng):1300nm

激光對(duì)生物樣品無(wú)影響;

激光對(duì)光電測(cè)量無(wú)影響;

系統(tǒng)噪聲:< 0.1 nm

全電動(dòng):4步進(jìn)電機(jī)用于懸臂和光電二極管自動(dòng)對(duì)準(zhǔn);

探針通道:為外部操作和探針提供自由通道;

頂部和側(cè)向同時(shí)光路通道:帶平消色差物鏡,可同時(shí)高達(dá)100x,NA0.7側(cè)向物鏡和10x,NA0.28頂部物鏡

 *HE002不兼容液體模式。

 

光學(xué)顯微鏡

數(shù)值孔徑:NA 0.1;

放大倍率:85x1050x19英寸監(jiān)視器,1/3英寸CCD;

水平視野:4.5~0.37mm;

手動(dòng)變焦:12.5倍(電動(dòng)變焦可選);

粗/精對(duì)焦單元:

兼容平顯色差物鏡:10x,NA 0.28和20x,NA 0.42和100x,NA0.7(取決于AFM測(cè)試頭);

 

液體池(可選)

樣品尺寸:φ25mm×2mm;

樣品定位范圍:5 mm x5mm;

定位分辨率:1um;

液體池尺寸:40mm x40mm x12mm;

液體體積:3ml;

液體可交換;

高壓**器和超聲波清洗溶液池部件。

 

溫控液體池(可選)

樣品尺寸:φ25mm×2mm;

加熱:*高60℃;

冷卻:室溫以下降至5℃;

樣品定位范圍:5 mm x5mm;

定位分辨率:優(yōu)于1.5um;

液體池尺寸:40 mm x40 mm x12mm;

液體體積:3ml;

液體可交換;

高壓**器和超聲波清洗液體池部件。

 

導(dǎo)電力AFM(選購(gòu))

電流范圍:100fA~10μA;三檔量程自動(dòng)切換(1 nA, 100 nA 和 10 μA)

電壓范圍:-10~ +7V

電流噪聲:≤60fA(1nA量程)

導(dǎo)電力AFM和KPFM模式可自動(dòng)切換

 

側(cè)向力和正交力音叉支架(可選)

兼容32,768kHz音叉;

兩種固定音叉的PCB;

音叉振動(dòng)的壓電陶瓷激勵(lì);

集成低噪聲前置放大器;

兼容側(cè)向100倍物鏡TERS\TEPL測(cè)量;

兼容頂部10x物鏡

 

納米壓痕裝置(可選)

*大載荷:5mN

負(fù)載噪聲:小于100nN

位移噪聲:小于0.2nm

 

光學(xué)系統(tǒng)的兼容性

紅外激光對(duì)光學(xué)成像無(wú)干擾;

可升級(jí)至OmegaScope,用于光譜、光電、SNOM和TERS&TEPL操作

 

帶光學(xué)顯微鏡支架的保護(hù)罩(可選)

隔聲:30dB;

具備靜電屏蔽功能;

具有環(huán)境控制輸入輸出接口;

100倍物鏡的精細(xì)聚焦(可選):聚焦精度0.2mm;

 

濕度控制系統(tǒng)(可選)

相對(duì)濕度:10%-85%

濕度穩(wěn)定性:±1%

 

軟件系統(tǒng)

自動(dòng)準(zhǔn)直系統(tǒng);

自動(dòng)配置標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量技術(shù);

自動(dòng)調(diào)節(jié)懸臂梁共振頻率;

能夠處理力曲線;

宏語(yǔ)言Lua,用于編程用戶函數(shù)、腳本和小構(gòu)件;

能用DSP宏語(yǔ)言對(duì)控制器進(jìn)行實(shí)時(shí)編程,無(wú)需重新加載控制軟件;

在坐標(biāo)空間處理圖像的能力,包括制作橫截面、擬合和高達(dá)12級(jí)的多項(xiàng)式曲面減法;

FFT處理,具有在頻率空間處理圖像的能力,包括濾波和分析;

納米蝕刻和納米操縱;

高達(dá)5000x5000像素圖像的處理能力。


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