光路通過自由空間耦合，已提供寬的CL光譜范圍和高性能

• 電腦全自動控制

• RPM位置可微調(diào)

• 無色差

• 定制化配置：角分辨CL、時間分辨CL、偏振和濾光片

• 可實現(xiàn)DUV到NIR的成像和光譜采集，可配置5個探測器

• 長焦長光譜儀

光譜范圍	UV-VIS-NIR 自由光路消色差耦合
金剛石切削收集鏡	拋物鏡 短 & 長工作距離
200 mm 伸縮臂	真空下馬達微調(diào)
CL 成像探測器	標(biāo)準(zhǔn): 全色光和單色光CL，室溫 PMT 可選:制冷 PMT, IGA 單道, 光子計數(shù)器 PMT, 時間分辨 PMT, RGB 濾光片
CL 光譜儀類型	iHR 320, iHR 550 (320 to 550 mm 焦長),多達 3 光柵塔, 2入口/2出口
升級可行性	可在PL, MicOS系統(tǒng)上升級
電子束控制	CL-LINK 控制多個采集過程 (模擬, 脈沖, SE), 線掃描成像, 點測試，同步光譜測試, 電鏡由外部控制掃描
軟件	LabSpec 6?控制光譜儀和成像
遠程控制器	可選
Clue 附件	偏振, ND 濾光片, 攝像機, EMCCD 等
SEM 附件	液氦/ 液氮制冷臺, EBIC 探測器和其它可兼容 CLUE 系列的附件