可選功能

銷售四個升級包，以滿足客戶的需求。 具有其他品牌DC電源所不具備的獨特且高性能的功能，能夠解決客戶亟待解決的工藝問題，提高薄膜性能。

1. ｈigh performance RAMP
通過控制放電前的輸出（點火操作），可以抑制放電開始時的輸出跳變，在放電后立即獲得穩(wěn)定狀態(tài)的功能。

直流電源中的RAMP功能通常用于放電后的輸出控制。 而我們專注于放電前的輸出控制。 放電后進行輸出控制，可能無法立即獲得穩(wěn)定的放電狀態(tài)。 此新功能通過放電前的輸出控制（點火操作），可以抑制放電開始時瞬時增加的功率，從而穩(wěn)定放電。

2. High control accuracy
實現(xiàn)了高精度輸出和可靠的連續(xù)重復(fù)性。

設(shè)定輸出的保證值范圍在標準值的10%~100%的范圍內(nèi)，低于10%在非保證范圍內(nèi)，但是追加了升級包的設(shè)備的保證值從1%開始保證。 此外，即使在重復(fù)數(shù)千或數(shù)萬次開/關(guān)的過程中，輸出變化也很小，并且可以保持高可重復(fù)性。

輸出重復(fù)精度（σ：0.74W）

3. High Speed ARC handing
新的 ARC 控制功能，可實現(xiàn)****的 5μ秒ARC切斷時間。

直流電源在感應(yīng)到異常放電時會瞬間切斷輸出，但如果該切斷時間太長，則可能無法恢復(fù)放電。 本升級包的功能可*大限度地縮短切斷時間，便于維持放電，實現(xiàn)工藝穩(wěn)定。 另外，短切斷時間也可以縮短成膜材料清洗的預(yù)濺射時間。

4. Superior performance ARC handing
DC電源自身判斷異常放電水平并決定切斷的時間，能夠執(zhí)行*佳的保護功能。

一般的直流電源只能進行1種模式的切斷設(shè)定。 但是，其切斷往往不適合當(dāng)時的狀況，之后的成膜工藝效率也會降低，有時會馬上再次發(fā)生異常放電而反復(fù)切斷。 此新功能通過DC電源自身判斷異常放電水平并決定切斷的時間，可以降低異常放電的復(fù)發(fā)概率，實現(xiàn)成膜工藝的效率化。 這些功能升級包可以單獨或多個同時添加到DC電源中。

自動判斷ARC截止時間