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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品列表
  • BROOKS 布魯克斯 質(zhì)量流量控制器 GP200 系列是業(yè)界首款完全不敏感、基于壓力的質(zhì)量流量控制器 (P-MFC),專為半導(dǎo)體制造中的**蝕刻和沉積工藝而設(shè)計。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 彈性體密封質(zhì)量流量計 它專為滿足吹掃氣體、過程分析和分析流量測量的需求而設(shè)計,具有成本效益和穩(wěn)定性,其電子輸出信號可替代渦輪流量計、基于面積的流量計和其他體積流量計。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質(zhì)量流量控制器 4800 系列控制器/儀表的主要優(yōu)點(diǎn):先進(jìn)的 MEMS 熱傳感器具有專用的 PID 算法,該算法針對控制閥的響應(yīng)進(jìn)行了優(yōu)化,使 4800 系列控制器能夠在高速下跟蹤實際流量,即使設(shè)定值任意更改也是如此。 可選的本地操作員界面 (LOI) 是一個方便的用戶界面,用于查看、控制和配置設(shè)備,而無需遠(yuǎn)程輔助電子設(shè)備。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質(zhì)量流量控制器 4800 系列控制器/儀表的主要優(yōu)點(diǎn):先進(jìn)的 MEMS 熱傳感器具有專用的 PID 算法,該算法針對控制閥的響應(yīng)進(jìn)行了優(yōu)化,使 4800 系列控制器能夠在高速下跟蹤實際流量,即使設(shè)定值任意更改也是如此。 可選的本地操作員界面 (LOI) 是一個方便的用戶界面,用于查看、控制和配置設(shè)備,而無需遠(yuǎn)程輔助電子設(shè)備。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質(zhì)量流量計 無論是灰塵、濕度、極端溫度還是濕氣,SLAMf 系列彈性體密封熱式質(zhì)量流量控制器和流量計都能提供久經(jīng)考驗的 SLA5800 系列流量計和控制器的高精度和長期穩(wěn)定性。 專門設(shè)計的 NEMA 4X/IP66 級外殼可保護(hù)先進(jìn)的數(shù)字電子設(shè)備,并為過程關(guān)鍵氣體/流體質(zhì)量流量提供穩(wěn)定、準(zhǔn)確的測量和控制。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質(zhì)量流量計 無論是灰塵、濕度、極端溫度還是濕氣,SLAMf 系列彈性體密封熱式質(zhì)量流量控制器和流量計都能提供久經(jīng)考驗的 SLA5800 系列流量計和控制器的高精度和長期穩(wěn)定性。 專門設(shè)計的 NEMA 4X/IP66 級外殼可保護(hù)先進(jìn)的數(shù)字電子設(shè)備,并為過程關(guān)鍵氣體/流體質(zhì)量流量提供穩(wěn)定、準(zhǔn)確的測量和控制。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 質(zhì)量流量計 無論是灰塵、濕度、極端溫度還是濕氣,SLAMf 系列彈性體密封熱式質(zhì)量流量控制器和流量計都能提供久經(jīng)考驗的 SLA5800 系列流量計和控制器的高精度和長期穩(wěn)定性。 專門設(shè)計的 NEMA 4X/IP66 級外殼可保護(hù)先進(jìn)的數(shù)字電子設(shè)備,并為過程關(guān)鍵氣體/流體質(zhì)量流量提供穩(wěn)定、準(zhǔn)確的測量和控制。 查看詳情
  • BROOKS 布魯克斯 流量計 無論是灰塵、濕度、極端溫度還是濕氣,SLAMf 系列彈性體密封熱式質(zhì)量流量控制器和流量計都能提供久經(jīng)考驗的 SLA5800 系列流量計和控制器的高精度和長期穩(wěn)定性。 專門設(shè)計的 NEMA 4X/IP66 級外殼可保護(hù)先進(jìn)的數(shù)字電子設(shè)備,并為過程關(guān)鍵氣體/流體質(zhì)量流量提供穩(wěn)定、準(zhǔn)確的測量和控制。 查看詳情
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