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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：DGL XY 帶潔凈室蓋的雙導(dǎo)臺(tái)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：AUM4-S4
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
設(shè)計(jì)特征 A.直接驅(qū)動(dòng)無鐵直線電機(jī)定位系統(tǒng) B.運(yùn)動(dòng)和歸航 C.潔凈室蓋 DGL XY雙導(dǎo)軌帶潔凈室蓋，由Akribis的標(biāo)準(zhǔn)CR蓋DGL系列模子制造，具有很高的篩度和定位精度。適用于潔凈室周圍.
詳情介紹：

設(shè)計(jì)特征

A.直接驅(qū)動(dòng)無鐵直線電機(jī)定位系統(tǒng)
B.運(yùn)動(dòng)和歸航
C.潔凈室蓋
 

DGL XY雙導(dǎo)軌帶潔凈室蓋，由Akribis的標(biāo)準(zhǔn)CR蓋DGL系列模子制造，具有很高的篩度和定位精度。適用于潔凈室周圍.

Motor Configuration

MODEL Axis Motor Effective Stroke (mm) Moving Mass (Kg) Total Mass (Kg) Sensor Position (mm) Hard Stopper Position (mm)
DGL200 Top AUM4-S2 300 3.1 29 304 320
AUM4-S3 300 3.4 29 304 320
Bottom AUM4-S3 300 24.9 103 304 320
AUM4-S4 300 26.1 103 304 320

Note: That granite mass is approx.240Kg. 

 

Performance Parameter

Specification Parameter Unit DGCR 300 DGCRS 300
1Straightness μm ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm ±3μm/25mm，NTE±10μm/610mm
±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm
1Flatness ±3μm/25mm ±3μm/25mm，NTE±10μ
NTE±10μm/300mm NTE±10μm/300mm
Repeatability (1μm resolution) ±3μm (40μm scale pitch) ±3μm (40μm scale pitch)
Repeatability (0.5μm resolution) ±1.5μm (20μm scale pitch) ±1.5μm (20μm scale pitch)
Repeatability (0.1μm resolution) ±1μm (20μm scale pitch) ±1μm (20μm scale pitch)
Repeatability (Analogue) ±5 counts ±5 counts
X-Y Orthogonality Arc-sec 10 10

Note: All measurement taken when module is mounted on a 5 micron flat granite table.



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