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產品詳情
  • 產品名稱:日本USHIO牛尾MIKASA光刻機

  • 產品型號:MA-10B
  • 產品廠商:USHIO牛尾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
接觸式/接近式曝光裝置。 牛尾是R&D用裝置專門公司Mikasa在中國頭個總代理店。
詳情介紹:

日本USHIO牛尾MIKASA光刻機MA-10B

設備視頻:https://v.youku.com/v_show/id_XNTk0NzU5MzczNg==.html


產品特征:


●機械手平臺可移動±50 mm,便于對齊


●在可移動的部件上設置傳感器,防止誤操作

●更輕量化的設計 ※與本公司的MA-10比較

●防止面罩掉落的抽板※根據(jù)面罩玻璃規(guī)格制造

●適配不規(guī)則尺寸的基板*根據(jù)基板樣式真空吸附


  • 各種曝光研究(硅膠、玻璃、化合物)







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