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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本KAIJO晶圓級(jí)凸塊鍵合機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):FB-x26凹凸1
  • 產(chǎn)品廠商:KAIJO凱捷
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
支持高達(dá) 6 英寸的晶圓 FB-x26BUMP1全自動(dòng)晶圓級(jí)凸塊鍵合機(jī)配備了一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng),可自動(dòng)將裝在彈匣中的晶圓送入鍵合階段。
詳情介紹:

日本KAIJO晶圓級(jí)凸塊鍵合機(jī)FB-x26凹凸1



株式會(huì)社 > 鍵合機(jī)業(yè)務(wù) TOP > 產(chǎn)品信息 <粘合機(jī)業(yè)務(wù) > > FB-x26BUMP1

FB-x26凹凸1

支持高達(dá) 6 英寸的晶圓
FB-x26BUMP1全自動(dòng)晶圓級(jí)凸塊鍵合機(jī)配備了一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng),可自動(dòng)將裝在彈匣中的晶圓送入鍵合階段。
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FB-x26凹凸1

  • 支持高達(dá) 6 英寸的晶圓(載波傳輸)
  • 通過料庫自動(dòng)送入晶圓
  • 可追溯性和自診斷升級(jí)

主要規(guī)格

粘接性能 粘接精度(不包括自學(xué)精度
3σ≦3.0微米
粘接范圍 4英寸晶圓:直徑
95mm 6英寸晶圓:直徑145mm
生產(chǎn)力 粘合時(shí)間 30毫秒/碰撞(藥丸切割模式) 40毫秒/碰撞(固定切割模式)
兼容的運(yùn)輸系統(tǒng) 晶圓尺寸 *大 6 英寸
輸送方式 使用載帶自動(dòng)輸送
雜志 寬度:176毫米 長(zhǎng)度:180毫米或200毫米高度:170毫米

其他 外部尺寸 寬1,292×深1,240×高1,728毫米
重量 550公斤



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