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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本KAIJO晶圓級(jí)凸塊鍵合機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：FB-x26凹凸3
  • 產(chǎn)品廠商：KAIJO凱捷
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
兼容*大 8 英寸的晶圓 FB-x26BUMP3晶圓級(jí)鍵合機(jī)單獨(dú)使用時(shí)，使用手動(dòng)轉(zhuǎn)移方法支持*大8英寸的晶圓。 通過(guò)連接到可選的運(yùn)輸系統(tǒng)“WHS-996”，它也可以用作全自動(dòng)轉(zhuǎn)移粘合機(jī)。
詳情介紹：

日本KAIJO晶圓級(jí)凸塊鍵合機(jī)FB-x26凹凸3




FB-x26凹凸3

  • 兩個(gè)晶圓級(jí)提高生產(chǎn)率
  • 升級(jí)的可追溯性和自我診斷
  • 可與晶圓進(jìn)料 WHS-996 結(jié)合使用進(jìn)行自動(dòng)輸送

主要規(guī)格

粘接性能 粘接精度（不包括自學(xué)精度
） 		±3.0微米（3σ）
粘接范圍 *大 200 mm（8 英寸）（手動(dòng)安裝規(guī)格） 自動(dòng)傳輸規(guī)格的晶圓外周長(zhǎng)超出鍵合范圍 2.5 mm 示例）

8 英寸：周長(zhǎng)直徑為 195 mm 是粘合范圍
生產(chǎn)力 粘合時(shí)間 30毫秒/碰撞（藥丸切割模式）40毫秒/碰撞（固定切割模式）
兼容的運(yùn)輸系統(tǒng) 晶圓尺寸 高達(dá) 8 英寸
輸送方式 半自動(dòng)運(yùn)輸（手動(dòng)運(yùn)輸）
*可與WHS-996結(jié)合使用進(jìn)行全自動(dòng)運(yùn)輸
其他 外部尺寸 FB-x26凹凸3 ： 寬1，132×深1，234×高1，728mm
WHS-996 ： 寬680×深1，190.5×高1，424
重量 FB-x26顛簸3：600公斤 WHS-996：300公斤


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