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產品目錄
產品詳情

  • 產品名稱：日本FUJI-US富士工業(yè)單組分濃度計

  • 產品型號：FUD-1 型號-130
  • 產品廠商：FUJI-US富士工業(yè)
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
該型號定位為FUD-1 Model 13的**型號，可滿足高精度和高穩(wěn)定性測量等客戶需求
詳情介紹：
日本FUJI-US富士工業(yè)單組分濃度計FUD-1 型號-130





單組分濃度計的特點

Model-130是強調測量濃度穩(wěn)定性的概念模型，在半導體制造工藝等需要高精度、高穩(wěn)定性濃度計的情況下非常有效。

優(yōu)點

  • 實現(xiàn)高精度的連續(xù)測量
  • 無需定期調整或校準，免維護
  • 安裝簡單，安裝時無需進行各種調整
  • 實時輸出，便于反饋到過程

用

  • CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等
  • 控制稀釋過程中的各種化學濃度（H2O2、四甲基氫氧化銨、HNO3、H2SO4、HCl 等）
  • 控制清洗過程中的清洗液濃度（HF、NH4OH、KOH、IPA 等）
  • 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度（HF、H2SO4 等）



規(guī)范

格式 FUD-1 型號-130
測量參數(shù) 超聲波傳播速度和溫度
指示 LCD（濃度、溫度、聲速/各種參數(shù)）
輸出信號 模擬DC4~20mA（濃度值可任意設定） 數(shù)字RS232C（濃度、溫度、聲速、錯誤代碼）

報警上限和下限 測量異常
權力 AC100V~240V 50/60Hz 30VA （也可使用DC24V）
結構 面板安裝（符合 DIN 標準）
功能 輸出范圍設置功能、報警輸出設置功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏移和增益設置功能、自診斷功能、故障**功能、異常值消除功能
選擇 溫度輸出（DC4~20mA）
渠道 高達 10Ch
電纜 6米
接液部件材料 全氟橡膠涂料
關節(jié) 有多種公稱直徑1/2~1英寸可供選擇。
測量環(huán)境 轉爐
 10~40°C
相對濕度85%以下
發(fā)射機 5~45°C
測量的流體溫度 0~50°C
壓力 0.3兆帕
流量 5升/分鐘以下


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