通用橢圓儀系統(tǒng)可用于測量玻璃上薄膜的厚度、折射率、各向異性和排列方向。

由于 AxoScan 的高測量速度（每個 Mueller 矩陣僅 0.03 秒），它能夠執(zhí)行一些其他橢圓儀無法執(zhí)行的橢圓測量。特別是，當必須測試大型基板上的大量位置以減少節(jié)拍時間時，會使用 AxoScan。由于其全 Mueller 矩陣測量能力，AxoScan 在測量需要廣義橢圓偏振法而不是標準橢圓偏振法的各向異性薄膜時也很有用。

所有 Axometrics 生產(chǎn)系統(tǒng)的構(gòu)建均符合每個客戶的工廠通用規(guī)格，通常包括額外的子系統(tǒng)，例如起重器、電離棒、機械和光學測量、**聯(lián)鎖裝置、地震分析和約束，以及用于自動化的完整 CIM 軟件控制生產(chǎn)測量和機器人樣品裝載。

常見的系統(tǒng)尺寸包括：

第 4 代 / 4.5 母玻璃

Gen 5 / 5.5 母玻璃

第 6 代母玻璃

第 8 代 / 8.5 母玻璃

VVRM 系統(tǒng)是一種高速 AxoScan 橢偏儀系統(tǒng)，能夠測量大型玻璃基板上的薄膜厚度。因為轉(zhuǎn)塔包括傾斜和旋轉(zhuǎn)功能，并且因為 AxoScan 測量整個 Mueller 矩陣，所以該系統(tǒng)特別適合測量各向異性薄膜。該系統(tǒng)*常見的用途是測量用作 LCD 面板對準層的摩擦或光對準 PI（聚酰亞胺）的對準方向、相對各向異性和厚度。