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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：JASCO日本分光 膜厚測(cè)量裝置

  • 產(chǎn)品型號(hào)：UTS-2000
  • 產(chǎn)品廠商：JASCO日本分光
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
膜厚測(cè)量裝置UTS-2000應(yīng)用*新的光譜分析技術(shù)，非破壞性、非接觸式，可以高速、高精度地測(cè)量外延膜、基板厚度、蝕刻殘留等膜厚。還可以使用標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)臺(tái)來(lái)評(píng)估設(shè)備表面內(nèi)的膜厚度分布。
詳情介紹：
測(cè)量范圍寬
可以在 0.25 至 750 μm 的寬測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量薄膜厚度（基材厚度）。

高精度測(cè)量
高精度干涉儀和高通量光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)膜厚數(shù)據(jù)的高精度測(cè)量。
高效測(cè)量
與自動(dòng)運(yùn)輸設(shè)備兼容。

與工藝使用所需的 FOUP 開啟器和多裝載端口兼容
它還與 FOUP（由存儲(chǔ)晶圓的 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)化）和多裝載端口（用于在 FOUP 中裝載和卸載晶圓的接口）兼容。
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)

兼容SEMI標(biāo)準(zhǔn)（半導(dǎo)體設(shè)備和材料國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)）

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