可選功能

銷售四個(gè)升級(jí)包，以滿足客戶的需求。 具有其他品牌DC電源所不具備的獨(dú)特且高性能的功能，能夠解決客戶亟待解決的工藝問(wèn)題，提高薄膜性能。

1. ｈigh performance RAMP
通過(guò)控制放電前的輸出（點(diǎn)火操作），可以抑制放電開始時(shí)的輸出跳變，在放電后立即獲得穩(wěn)定狀態(tài)的功能。

直流電源中的RAMP功能通常用于放電后的輸出控制。 而我們專注于放電前的輸出控制。 放電后進(jìn)行輸出控制，可能無(wú)法立即獲得穩(wěn)定的放電狀態(tài)。 此新功能通過(guò)放電前的輸出控制（點(diǎn)火操作），可以抑制放電開始時(shí)瞬時(shí)增加的功率，從而穩(wěn)定放電。

2. High control accuracy
實(shí)現(xiàn)了高精度輸出和可靠的連續(xù)重復(fù)性。

設(shè)定輸出的保證值范圍在標(biāo)準(zhǔn)值的10%~100%的范圍內(nèi)，低于10%在非保證范圍內(nèi)，但是追加了升級(jí)包的設(shè)備的保證值從1%開始保證。 此外，即使在重復(fù)數(shù)千或數(shù)萬(wàn)次開/關(guān)的過(guò)程中，輸出變化也很小，并且可以保持高可重復(fù)性。

輸出重復(fù)精度（σ：0.74W）

3. High Speed ARC handing
新的 ARC 控制功能，可實(shí)現(xiàn)****的 5μ秒ARC切斷時(shí)間。

直流電源在感應(yīng)到異常放電時(shí)會(huì)瞬間切斷輸出，但如果該切斷時(shí)間太長(zhǎng)，則可能無(wú)法恢復(fù)放電。 本升級(jí)包的功能可*大限度地縮短切斷時(shí)間，便于維持放電，實(shí)現(xiàn)工藝穩(wěn)定。 另外，短切斷時(shí)間也可以縮短成膜材料清洗的預(yù)濺射時(shí)間。

4. Superior performance ARC handing
DC電源自身判斷異常放電水平并決定切斷的時(shí)間，能夠執(zhí)行*佳的保護(hù)功能。

一般的直流電源只能進(jìn)行1種模式的切斷設(shè)定。 但是，其切斷往往不適合當(dāng)時(shí)的狀況，之后的成膜工藝效率也會(huì)降低，有時(shí)會(huì)馬上再次發(fā)生異常放電而反復(fù)切斷。 此新功能通過(guò)DC電源自身判斷異常放電水平并決定切斷的時(shí)間，可以降低異常放電的復(fù)發(fā)概率，實(shí)現(xiàn)成膜工藝的效率化。 這些功能升級(jí)包可以單獨(dú)或多個(gè)同時(shí)添加到DC電源中。

自動(dòng)判斷ARC截止時(shí)間