產(chǎn)品目錄
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- SANEI三榮電機(jī)
- NPM日脈電機(jī)馬達(dá)
- NBK鍋屋工裝夾具
- AKRIBIS雅克貝斯精密平...
- COSMO科斯莫檢漏儀
- SAMJUNG禪才離子風(fēng)棒
- SUMITA住田光纖
- HAYASHI林時(shí)計(jì)光纖光源
- METROL美德龍
- VALQUA華爾卡配管部品
- CHINO千野溫濕度計(jì)
- HIKARIYA光屋檢查燈
- HEIDON新東攪拌機(jī)
- SOLAX/SERIC索納克...
- SANKO山高膜厚計(jì)
- ITOH伊藤粉碎機(jī)
- NEWKON新光針孔機(jī)
- ONOSOKKI小野編碼器
- ELMEX安科生物涂抹棒
- AxoScan美國(guó)
- MITSUI ELECTRI...
- FUJICOM富士
- HAYASHI林時(shí)計(jì)
- Navitar納維塔爾鏡頭
- KANETEC強(qiáng)力脫磁裝置
- NPM日本脈沖電機(jī)
- YUASA尤阿薩折彎?rùn)C(jī)
- UNILAM優(yōu)尼光紫外燈
- POLARION普拉瑞探照燈
- AND艾安得
- JIKCO吉高濃度計(jì)
- IIJIMA飯島酸素計(jì)
- SPAIR日信工具
- Axometrics美國(guó)
- ASAHI旭精工
- DSK電通熒光燈
- DNL**燈
- ORIHARA折原應(yīng)力儀
- NIKKATO日陶研磨球
- NDK日本電色霧度計(jì)
- DRY-CABI德瑞卡比防潮...
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
隨著電子元件變得越來越小，熱處理對(duì)清潔環(huán)境的要求越來越高。例如，過去不是什么問題的灰塵，對(duì)日益小型化的電子元件的可靠性產(chǎn)生了重大影響，而在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，甚至生產(chǎn)過程中使用的夾具也要求清潔。 。 它來了。
“大型潔凈烤箱1500”滿足了這一需求?？梢砸淮螌?duì)大量樣品進(jìn)行熱處理，滿足了日益增長(zhǎng)的“在清潔環(huán)境中進(jìn)行熱處理”的需求。
詳情介紹：
此外，由于需要降低半導(dǎo)體制造成本，因此需要更大的潔凈烤箱。如果晶圓尺寸從200毫米增加到300毫米，表面積將增加2.25倍，可切割的芯片數(shù)量大約是原來的兩倍。由于無論尺寸大小，烘烤時(shí)間都是相同的，因此產(chǎn)量也會(huì)增加一倍。當(dāng)然，這個(gè)過程需要更大的烤箱。
- 兼容大量樣品和較大樣品
- 內(nèi)部方法已擴(kuò)展到處理大批量樣品處理以及較大晶圓夾具和石英管的干燥和熱處理。而且該裝置為立式，安裝空間小。
-
- 各型號(hào)尺寸比較
-
清潔度等級(jí)5
（相當(dāng)于FED-STD-209D等級(jí)100）/均勻熱處理 - 采用HEPA過濾器，內(nèi)部清潔度達(dá)到5級(jí)（相當(dāng)于FED-STD-209D 100級(jí)）。此外，前吹水平層流循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng)使高溫空氣在腔體內(nèi)均勻循環(huán)，有助于提高產(chǎn)品良率。 （見右圖）
- 可在潔凈室中操作（可選）
- 連接排氣管道，將試驗(yàn)室內(nèi)的熱空氣通過排熱連接口排出，烘箱機(jī)械內(nèi)產(chǎn)生的灰塵通過總排氣連接口排出，防止灰塵飛散。 （客戶須提供排氣管）
-
- 前吹式水平層流循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng)
- 主要規(guī)格
-
模型 LTM-2201052 *大電壓 AC200V 3φ3W 50/60Hz *大消費(fèi)電力 9.0kVA 性能 溫度范圍 (環(huán)境溫度+60)至+200℃ 溫度波動(dòng)范圍 ±2.0度 溫度分布 ＋100℃時(shí)±3.0℃ 升溫時(shí)間 60分鐘內(nèi)從環(huán)境溫度升至+100℃ 清潔度 溫度穩(wěn)定時(shí)為 5 級(jí)（相當(dāng)于 FED-STD-209D 100 級(jí)）
（門打開時(shí)無法保持 100 級(jí)清潔度）尺寸 內(nèi)部法 寬1000mm×高1500mm×深1000mm 外法 W1200mm x H2250mm x D1460mm（不包括突出部分） 容量 1500L 重量 600公斤
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