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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:THERMOCERA日本臺(tái)式超高溫實(shí)驗(yàn)爐

  • 產(chǎn)品型號(hào):Mini-BENCH-Φ3
  • 產(chǎn)品廠商:THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
超緊湊臺(tái)式超高溫實(shí)驗(yàn)爐, 適用于各種研發(fā)應(yīng)用[Mini-BENCH]系列
詳情介紹:
我們根據(jù)您的預(yù)算和目的,從*低配置(加熱器/腔室+控制箱)中提出*合適的碳爐系統(tǒng)(真空、惰性氣體、還原氣氛)。

Φ80mm內(nèi)徑坩堝感應(yīng)樣品,Φ1~4英寸晶圓燒制 體積小,操作簡(jiǎn)單 溫度快速升至2000°C!
可廣泛應(yīng)用于SiC和GaN器件的基礎(chǔ)研究、新材料及材料的開發(fā)、其他先進(jìn)的基礎(chǔ)研究、產(chǎn)品開發(fā)等部門。

特征

 

  • 桌面尺寸小,可以安裝在實(shí)驗(yàn)室的有限空間內(nèi)。
  • 我們將根據(jù)所需的燒制條件響應(yīng)定制設(shè)計(jì)。
  • 我們將提出適合您預(yù)算的設(shè)備配置。

 

【設(shè)備配置】

 

(a) 腔室 + 控制箱
(b) 腔室 + 控制箱 + 真空排氣系統(tǒng)(泵、儀表、閥門、真空管道)

 

*訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)按照以下說明進(jìn)行操作。

?要求的設(shè)備配置(A或B以上)、
爐膛加熱范圍、尺寸
、樣品材料、形狀
、燒成溫度條件
、爐膛氣氛(真空燒成、氣體類型)

原理圖規(guī)格

加熱器

 

  • 平面加專線(晶圓用):C/C復(fù)合材料(或鎢)
  • 圓柱形加熱絲(坩堝用):C/C復(fù)合材料(或鎢)

* 根據(jù)加熱范圍的尺寸,平面加熱器和圓柱形加熱器可以組合使用,以實(shí)現(xiàn)整個(gè)坩堝的均勻加熱。

Mini-BENCH控制箱

 
可編程溫度控制器、直流電源(或外部變壓器)、工作端、電流表和腔室開關(guān)設(shè)備*裝在一個(gè)緊湊的盒子里。 它包含Mini-BENCH基本操作所需的一切。
 

*** Φ3 和 4 英寸尺寸的腔室。

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