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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:THERMOCERA日本K.K有機(jī)膜和金屬膜沉積系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):nanoPVD-T15A
  • 產(chǎn)品廠商:THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
小型、高性能 、高性能有機(jī)膜和金屬膜沉積設(shè)備
詳情介紹:
這是一種高性能的“有機(jī)薄膜和金屬薄膜沉積”系統(tǒng)。 采用Moorfield專有的LTE1有機(jī)氣相沉積源,具有優(yōu)異的溫度響應(yīng)、穩(wěn)定性和重現(xiàn)性,采用TE1-Box屏蔽金屬材料沉積源。 適用于OLED、OPV、OTFT等有機(jī)薄膜沉積和金屬材料沉積。 該多功能裝置可配備多達(dá)2個(gè)金屬沉積源和多達(dá)4個(gè)有機(jī)氣相沉積源,并能夠自動(dòng)連續(xù)多層沉積和同時(shí)沉積。 我們響應(yīng)研發(fā)領(lǐng)域的各種要求。

出色的基本性能

 

  • **真空 5x10-5 Pascal
  • SUS304 高真空室
  • 快速真空到達(dá)(約 10 分鐘至 1x10-3Pa)
  • T/S調(diào)節(jié)距離:300mm 均勻氣相沉積膜

高性能系統(tǒng)

 

  • 7 英寸觸摸屏,用于集中管理所有操作、薄膜沉積控制和數(shù)據(jù)管理
  • 自動(dòng)連續(xù)多層
  • 共沉積(*LTE有機(jī)源)
  • APC控制(PID自動(dòng)壓力控制)
  • PLC自動(dòng)排序(吸塵和排氣)操作

很多選擇

 

  • 電路板旋轉(zhuǎn)、上/下和下降
  • PCB加熱器 500°C
  • PCB快門、光源快門
  • 快速排氣(至少 6 分鐘)

主要技術(shù)指標(biāo)

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