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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:THERMOCERA日本LTE有機(jī)氣相沉積源

  • 產(chǎn)品型號(hào):LTE5
  • 產(chǎn)品廠商:THERMOCERA日本K.K
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
用于有機(jī)薄膜材料的氣 相沉積源在低溫(80至600°C)下具有出色的控制和響應(yīng)能力 穩(wěn)定的 沉積速率易于 填充和更換坩堝
詳情介紹:

主要技術(shù)指標(biāo)

 

  • 坩堝材料:石英(標(biāo)準(zhǔn))、氧化鋁
  • 坩堝容積:1cc(LTE1)、5cc(LTE5)
  • 表殼:SUS304
  • 頂板:氧化鋁
  • 溫度傳感器:K型熱電偶
  • 固定:M6固定支架(或CF、ISO法蘭)

LTE控制器

參考圖 (Φ2“ Flexihead)

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