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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：NAPSON納普森電阻率參考晶圓

  • 產(chǎn)品型號：NRW-3-200
  • 產(chǎn)品廠商：NAPSON納普森
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
電阻率參考晶圓 NRW 系列
詳情介紹：

產(chǎn)品特性和功能

NRW 系列是一種參考硅晶圓，已通過電阻測量**制造商 Napson 的電阻率評估和認(rèn)證。 它使用具有出色穩(wěn)定性的中子輻照晶圓。

Napson 的四探頭電阻測量儀器由電阻率標(biāo)準(zhǔn)晶圓（NIST、VLSI）校準(zhǔn)，并符合以下 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)、日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) （JIS） 和美國材料與試驗協(xié)會 （ASTM） 標(biāo)準(zhǔn)。

< 標(biāo)準(zhǔn)>
[SEMIl 標(biāo)準(zhǔn)]
SEMI-MF43-99、SEMI-MF374-02、SEMI-MF84-02、SEMI-MF1529-02
[美國測試協(xié)會和 材料）]
ASTM-F-84-99（SEMI-MF84）， ASTM-F-374-00a， ASTM-F-390-11， ASTM-F-1529-97
[日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)]
JIS-H-0602-1995

測量規(guī)格

通用規(guī)格

  • 材質(zhì)：硅膠
  • 制造方式：FZ法
  • 表面光潔度：包裹
  • 晶體方向：（1-1-1）±1度
  • 摻雜：N型（磷）
  • 晶圓尺寸：Φ100mm（4英寸）
  • 晶圓厚度：*因電阻率類型而異。 請參閱下表。

晶圓產(chǎn)品陣容/規(guī)格

類型 電阻率
（Ohm.cm） 		晶圓厚
度 （μm） 		薄層電阻
（Ohm/sq）
* 計算值
NRW-1-28
 28.00 ±2.00 559.00 ±25.00 約500人
NRW-2-110
 110.00 ±11.00 580.00 ±10.00 約2,000人
NRW-3-200 200.00 ±12.00 675.00 ±25.00 約3,000人
NRW-4-330 330.00 ±25.00 675.00 ±25.00 約5,000人
NRW-5-550 550.00 ±50.00 450.00 ±25.00 約12,000人

電阻率測量保證精度

保證位置 精度
中心面積
（*距晶圓中心φ5mm光斑） 		± 3 %

* 在納普森的評估標(biāo)準(zhǔn)環(huán)條件/邊界下保證精度

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