兼容微量元素濃度和成分分析
兼容從輕元素到重元素的多種元素：  4 Be 到92 U
高靈敏度硼檢測儀AD-Boron 
我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如改進(jìn)硼分析功能，以提高分析精度和穩(wěn)定性。此外，恒溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是用于穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
XY-θ驅(qū)動臺
XY-θ 驅(qū)動的樣品臺和測量方向設(shè)置程序可實(shí)現(xiàn)整個晶圓表面上的**薄膜厚度和成分分布測量。鐵電薄膜也不受衍射線的影響。
應(yīng)用
半導(dǎo)體器件 BPSG、SiO 2、Si 3 N4、摻雜多晶硅（B、P、N、As）、Wsix、Al-Cu、TiW、TiN、TaN、PZT、BST、SBT、MRAM ……
金屬膜 W、 Mo、Ti、Co、Ni、Al、Cu、Ir、Pt、Ru、...
磁盤 CoCrTa、CoCrPt、...DLC、...NiP、...
磁光盤 Tb-FeCo、?
磁性磁頭 GMR、TMR、??
豐富的固定測角儀陣容
我們根據(jù)膜厚度和膜結(jié)構(gòu)提供佳的固定測角儀。我們還有一個專用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的 Wsix 薄膜。
全自動設(shè)備日常管理功能AutoCal
為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須正確校準(zhǔn)儀器。為此，必須定期測量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備處于良好狀態(tài)。這種日常校準(zhǔn)工作是完全自動化的，減少了操作員的工作量。這就是“AutoCal 功能”。
兼容C to C自動傳輸
除了開放式盒式磁帶外，它還兼容 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。另外，可與上位機(jī)進(jìn)行SECS通信，并兼容各種CIM/FA。
緊湊節(jié)能設(shè)計
主機(jī)設(shè)計緊湊，占地面積小于1平方米。采用無油變壓器，輔助設(shè)備緊湊，節(jié)能設(shè)計。

產(chǎn)品名稱	WDA-3650
方法	同時波長色散 X 射線熒光 (WD-XRF)
目的	適用于大 200 毫米晶圓的多層堆疊的厚度和成分
技術(shù)	4 kW X 射線發(fā)生器，帶 XYθ 樣品臺、Rh 陽極 WDXRF
主要成分	多20個通道，固定型(?Be~?υU)，掃描型(22Ti~?у)
選項(xiàng)	高靈敏度AD-硼通道，具有C-to-C自動加載器的自動校準(zhǔn)功能
控制（電腦）	內(nèi)部 PC、MS Windows® 操作系統(tǒng)
機(jī)身尺寸	1120（寬）x 1450（高）x 890（深）毫米
大量的	600公斤（本體）
電源	三相 200 VAC 50/60 Hz，30 A 或單相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A