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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ADVANCE RIKO 日本紅外燈退火設(shè)備現(xiàn)貨

  • 產(chǎn)品型號(hào)：RTA-12000
  • 產(chǎn)品廠商：ADVANCE RIKO先進(jìn)理工
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
10秒達(dá)到目標(biāo)溫度！ 我們相信我們的紅外燈加熱具有高能量密度、近紅外線、高熱響應(yīng)、溫度可控、真空清潔加熱等特點(diǎn)?？扇菁{ 2 英寸（50 毫米）至 12 英寸（300 毫米）晶圓的產(chǎn)品陣容。 我們通過(guò) RTA 系列提供所需的熱處理配方（加熱/冷卻）和氣氛（真空或氣體）來(lái)滿足客戶需求。
詳情介紹：
  • 離子注入后激活退火
  • 氧化膜生成退火
  • 歐姆電極的合金化
  • PZT 和 SBT 等鐵導(dǎo)體薄膜的結(jié)晶退火
  • 硅片施主殺手處理
  • 硅化物形成、自對(duì)準(zhǔn)硅化物形成
  • 發(fā)光元件及半導(dǎo)體激光基板的熱處理
  • 超淺鍵形成
  • 鐵電電容器成膜
  • 柵極氧化膜形成
  • 加熱速度可達(dá)200℃/s
  • 提供 C 到 C 機(jī)器人傳輸系統(tǒng)
  • 可連接至半導(dǎo)體制造設(shè)備
  • 燈區(qū)輸出控制，允許浸泡多張紙
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