FS-4/FS-8采用多LED光源和**新型MWE技術(shù)

使用新的**多波長(zhǎng)橢圓計(jì) （MWE） 技術(shù)（美國(guó)**號(hào) 9,354,118）和多波長(zhǎng) LED 光源可實(shí)現(xiàn)寬光譜橢偏儀分析。
此外，新發(fā)布的 FS-4 （G4） 和 FS-8 （G4） 分別在紅外和紫外區(qū)域增加了 LED，以在更寬的范圍內(nèi)提供增強(qiáng)的薄膜測(cè)量。 光源單元的光路將多光譜LED光源集成到單個(gè)明亮均勻的光線中。
FS-4 / FS-8的主要功能和特點(diǎn)如下表所示。

多達(dá) 8 個(gè)波長(zhǎng)！ 通過(guò)寬光譜范圍測(cè)量增強(qiáng)薄膜測(cè)量

新發(fā)布的 FS-4/FS-8 可在更多波長(zhǎng)和更寬的光譜范圍內(nèi)提供增強(qiáng)的薄膜測(cè)量。 新系統(tǒng)提供獲得**的多波長(zhǎng)橢圓計(jì) （MWE） 技術(shù)和長(zhǎng)壽命 LED 光源、快速、可重復(fù)的探測(cè)器，無(wú)移動(dòng)部件、緊湊的設(shè)計(jì)和 Web 瀏覽器界面，同時(shí)保持易用性和可負(fù)擔(dān)性。

埃納米薄膜薄膜厚度的高精度測(cè)量

從亞單層高精度測(cè)量納米薄膜的厚度，無(wú)損測(cè)量每層多層薄膜的厚度，

多光譜橢圓儀對(duì)薄膜非常敏感，由橢圓（Δ：delta）參數(shù)得出。
通過(guò)測(cè)量 Mr./Ms. 中反射的 p 偏振光和 s 偏振光之間的相位，即使要測(cè)量的光的波長(zhǎng) （500 nm） 與薄膜厚度（小于 0.1 nm）
相比非常長(zhǎng)，也可以測(cè)量**的薄膜厚度定量到亞單層的厚度。

下表顯示了使用包含多層的各種 Mr./Ms. 拉力進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量的準(zhǔn)確度和精度。
得益于MWE技術(shù)，它在測(cè)量0?~1000nm范圍內(nèi)薄膜的薄膜厚度和折射率方面表現(xiàn)出色。