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簡單介紹：
該系統(tǒng)是一種用于測試的輥壓印裝置，其中通過EB光刻系統(tǒng)形成的輥壓模具的小直徑輥（Φ30）雕刻的納米圖案通過熱固化方法轉移到大直徑輥上
詳情介紹：
型號 TMR-02
該系統(tǒng)是一種用于測試的輥壓印裝置，其中通過EB光刻系統(tǒng)形成的輥壓模具的小直徑輥（Φ30）雕刻的納米圖案通過熱固化方法轉移到大直徑輥上，通過UV固化方法將小直徑輥的圖案轉移到大直徑輥上，并將這種大直徑輥模的納米圖案轉移到薄膜上。
【本設備規(guī)格】
| 壓印方式 | 熱固化法及UV固化法 |
|---|---|
| 軋輥基板 |
Φ300×150 |
| 壓制對象 | 0.08~0.2噸 |
| *大軋輥加壓載荷 | 500N |
| 單位面積載荷 | 3.92N/毫米2 |
| 涂布方式 | 尺寸壓制法/逗號輥模法 |
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