GF80系列金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)

長(zhǎng)處

• 長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性：小于 0.5% 滿量程/年
• 穩(wěn)定時(shí)間：1 秒或更短
• 滿量程流量高達(dá) 300 slpm
• 全金屬密封流路：16 μ“ Ra 表面光潔度
• 耐腐蝕的哈氏合金®傳感器可以在低溫下工作，適用于容易發(fā)生熱變性的氣體
• 可配置的 MultiFlo? 功能 - 在單個(gè)設(shè)備中支持?jǐn)?shù)千種氣體類型和范圍組合，而無(wú)需斷開(kāi)氣體管線或犧牲精度
• 有效的溫度補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)**的溫度系數(shù)規(guī)格
• 自診斷常規(guī)和獨(dú)立的診斷服務(wù)端口
• 纖薄的機(jī)身寬度，帶 VCR 配件
• DeviceNet?、Profibus®、RS-485、模擬接口

優(yōu)點(diǎn)

• 流量穩(wěn)定時(shí)間小于 1 秒，可消除氣體浪費(fèi)和工藝可變性
• 可滲透氧氣，不使用需要隨著時(shí)間的推移而更換的彈性體密封件
• MultiFlo? 簡(jiǎn)化和流水了工藝氣體轉(zhuǎn)換，無(wú)需去除或校準(zhǔn) MFC
• 可以在不到 60 秒的時(shí)間內(nèi)設(shè)置新的氣體和/或范圍
• 測(cè)量精度不受溫度波動(dòng)的影響
• 易于訪問(wèn)診斷端口，以*大限度地延長(zhǎng)生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間
• 體積緊湊，可輕松集成到狹小的機(jī)器空間中，是改進(jìn)的理想選擇
• 多個(gè)協(xié)議通信接口簡(jiǎn)化了與現(xiàn)有系統(tǒng)的集成

用途

• 新型半導(dǎo)體工藝工具，用于對(duì)傳統(tǒng) MFC 進(jìn)行經(jīng)濟(jì)高效的改造/升級(jí)
• 減少 6 英寸和 8 英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫(kù)存
• 用于 LED 和功率器件制造的 MOCVD
• 太陽(yáng)能/薄膜化學(xué)氣相沉積 （CVD） 系統(tǒng)
• 分析OEM設(shè)備