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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：BROOKS 布魯克斯 蒸汽輸送模塊

  • 產(chǎn)品型號：VDM300
  • 產(chǎn)品廠商：BROOKS 布魯克斯
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
在超潔凈去離子蒸汽供應(yīng)中實現(xiàn)*高的流量精度
詳情介紹：

VDM300蒸汽輸送模塊


長處

  • 流量范圍：3 slpm（DIW 蒸汽）
  • 直接水蒸氣測量，具有出色的流量精度
  • 直接連接到廠內(nèi)供水裝置
  • 能夠在*低溫度下運行（不會過熱）
  • 優(yōu)化的沖洗和排水設(shè)計
  • EtherCAT數(shù)字通信
  • Brooks 專家支持工具 （BEST） 圖形界面


優(yōu)點
  • 成熟可靠的熱式質(zhì)量流量測量和控制技術(shù)
  • 兼容各種供水壓力
  • 增強的防腐處理
  • 清潔制造
  • 使用模擬或數(shù)字通信的工具接口
  • 用于增強數(shù)據(jù)收集或故障排除的直接接口

用途
  • 硅半導(dǎo)體的后蝕刻工藝
  • 硅半導(dǎo)體金屬帶材工藝
  • 低氣壓環(huán)境下的超高潔凈度加濕
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