產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：RIGAKU理學(xué)透射X射線CD測(cè)量工具
產(chǎn)品型號(hào)：XTRAIA CD-3200T
產(chǎn)品廠商：RIGAKU日本理學(xué)
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

RIGAKU理學(xué)透射X射線CD測(cè)量工具XTRAIA CD-3200T,TSAXS 是一種用于 CD 測(cè)量的在線小角 X 射線散射方法。*大 300 mm 晶圓*先進(jìn)的設(shè)備微形狀（淺/深圖案）測(cè)量設(shè)備可以對(duì)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行無(wú)損測(cè)量，例如橫截面輪廓、深度、形狀和傾斜度。獲取反映橫截面形狀的 X 射線衍射圖像。

詳情介紹：

RIGAKU理學(xué)透射X射線CD測(cè)量工具XTRAIA CD-3200T

XTRAIA CD-3200T

透射 X 射線 CD 測(cè)量工具

TSAXS 是一種用于 CD 測(cè)量的在線小角 X 射線散射方法。

*大 300 mm 晶圓

*先進(jìn)的設(shè)備微形狀（淺/深圖案）測(cè)量設(shè)備

可以對(duì)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行無(wú)損測(cè)量，例如橫截面輪廓、深度、形狀和傾斜度。獲取反映橫截面形狀的 X 射線衍射圖像。

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描述 XTRAIA CD-3200T

我們提供適用于各種形狀的半導(dǎo)體器件的設(shè)備陣容。

可以無(wú)損地測(cè)量橫截面輪廓、深度、形狀和傾斜度等納米結(jié)構(gòu)。

您無(wú)需事先進(jìn)行任何文庫(kù)制備即可開始測(cè)量和分析。它可以準(zhǔn)確測(cè)量光刻膠等有機(jī)材料，而不會(huì)收縮。

應(yīng)用實(shí)例

使用 TSAXS 對(duì)深孔進(jìn)行無(wú)損測(cè)量
TSAXS 和橫截面掃描電子顯微鏡（SEM）疊加
TSAXS 側(cè)壁 TiN 膜的厚度分布
CD 和面內(nèi)傾斜角在晶圓平面中的分布。
深度 CD 配置文件

XTRAIA CD-3200T 規(guī)格

技術(shù)	小角 X 射線散射 - 透射模式（TSAXS）
用	高深寬比（HAR）結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵尺寸測(cè)量
X 射線源	旋轉(zhuǎn)與陰極（Mo Ka， 17.4 keV）
X 射線光學(xué)元件	多層反射鏡光學(xué)元件
X 射線探測(cè)器	HyPix 6000HE （二維）
主要組件	圖案化晶圓測(cè)量：周期性微觀 3D 形狀、深孔/柱結(jié)構(gòu) 、DRAM、3D-NAND、3D LSI 結(jié)構(gòu)
特征	圖形識(shí)別和全晶圓映射
選擇	GEM300 軟件，支持 E84/OHT
本體尺寸	4020（寬） × 2500（深） × 3450（高）毫米
測(cè)量目標(biāo)	節(jié)距、CD、高度、側(cè)壁厚度、SWA（側(cè)壁角度）、RT（圓頂）、RB（圓底）、CD 分布、節(jié)距分布、高度分布