用于半導體生產工藝的高性能質量流量控制器的EtherCAT通訊版本，符合SEMI認證。 EtherCAT通訊用于半導體制造設備的高速傳輸系統。
特別之處
- 精度范圍±1%S.P.
- 金屬密封
- 無塵生產(粒子標準監(jiān)控)
- 環(huán)境溫度補足式質流傳感器
- EtherCAT 通信
選配規(guī)格
- 小流量 F.S.
- 液化體
- Large-flow 范圍
使用范例
EtherCAT通訊設備的統一化
越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通訊接口（數字I/F），用于高速控制機械臂等運輸系統。 EtherCAT通訊有65,536個節(jié)點，MFC的所有測量系統和驅動系統元件都可以與EtherCAT通訊統一。
規(guī)格表
| 溫度 | *小壓差 | *大壓差 | 精度 | 控制范圍 | *低 F.S. | 馬克斯 FS | 密封 |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%滿量程 | 10單片機CM | 300 升 | 金 |
Lintec 林泰克 EtherCAT質量流量控制器 MC-5000C,北崎有售，歡迎咨詢。
