TSI美國進口 帶閥的液體流量控制器 2950-05V
TSI美國進口 帶閥的液體流量控制器 2950-05V

帶閥液體流量控制器 2950V
型號：2950-01VTurbo? 液體流量控制器 2950V 專為**的微電子應用而設(shè)計，可與 MSP 的 Turbo II? 氣化器配合使用，為半導體薄膜沉積工藝（包括 CVD、PECVD、ALD 和 MOCVD）提供****的液體源蒸汽輸送性能。
產(chǎn)品詳情
Turbo? 液體流量控制器 2950V 采用定制設(shè)計的高精度、高速流量傳感器和精心設(shè)計的流量控制電子設(shè)備。這些組件提供對先進半導體加工至關(guān)重要的***性能。
精密流量控制
2950 LFC 包含流量傳感器和液體控制電子元件，用于控制 MSP 的 Turbo II? 蒸發(fā)器上的壓電閥。對于沒有板載液體控制壓電閥的蒸發(fā)器，可以使用 2950V 系列 Turbo? LFC。
應用
半導體薄膜沉積工藝化學氣相沉積 （CVD）
等離子體增強化學氣相沉積 （PECVD）
Atmoic layer deposituion （ALD） （大氣層沉積物 （ALD））
金屬有機化學氣相沉積 （MOCVD）
需要頻繁調(diào)整流量的應用
特性和優(yōu)勢
**的流量控制和可調(diào)性
出色的精度和線性度
超快響應時間
**的可重復性
寬流量范圍選項

提供 Turbo? LFC 型號

?使用 TEOS 作為參比液在 23±2°C 下測定的標稱*大流量。 流量范圍是指定液體的函數(shù)。