TSI美國(guó)進(jìn)口 帶閥的液體流量控制器 2950-20V
TSI美國(guó)進(jìn)口 帶閥的液體流量控制器 2950-20V

帶閥液體流量控制器 2950V
型號(hào)：2950-01VTurbo? 液體流量控制器 2950V 專(zhuān)為**的微電子應(yīng)用而設(shè)計(jì)，可與 MSP 的 Turbo II? 氣化器配合使用，為半導(dǎo)體薄膜沉積工藝（包括 CVD、PECVD、ALD 和 MOCVD）提供****的液體源蒸汽輸送性能。
產(chǎn)品詳情
Turbo? 液體流量控制器 2950V 采用定制設(shè)計(jì)的高精度、高速流量傳感器和精心設(shè)計(jì)的流量控制電子設(shè)備。這些組件提供對(duì)先進(jìn)半導(dǎo)體加工至關(guān)重要的***性能。
精密流量控制
2950 LFC 包含流量傳感器和液體控制電子元件，用于控制 MSP 的 Turbo II? 蒸發(fā)器上的壓電閥。對(duì)于沒(méi)有板載液體控制壓電閥的蒸發(fā)器，可以使用 2950V 系列 Turbo? LFC。
應(yīng)用
半導(dǎo)體薄膜沉積工藝化學(xué)氣相沉積 （CVD）
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 （PECVD）
Atmoic layer deposituion （ALD） （大氣層沉積物 （ALD））
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積 （MOCVD）
需要頻繁調(diào)整流量的應(yīng)用
特性和優(yōu)勢(shì)
**的流量控制和可調(diào)性
出色的精度和線性度
超快響應(yīng)時(shí)間
**的可重復(fù)性
寬流量范圍選項(xiàng)

提供 Turbo? LFC 型號(hào)

?使用 TEOS 作為參比液在 23±2°C 下測(cè)定的標(biāo)稱(chēng)*大流量。 流量范圍是指定液體的函數(shù)。