具有雙流體噴嘴和大型汽化室的高效率汽化器。

搭載液體噴嘴和載氣噴嘴（0.8~180SLM），該雙流體噴嘴結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)高效汽化。與VU-430相比，通過增加汽化室的體積，對流時(shí)間和熱交換面積得到改善，使大流量汽化成為可能。

該汽化器為閥門集成汽化器，若與LM-3000L結(jié)合使用，可直接控制即將進(jìn)入汽化器的液體流量，從而提高氣體流量控制的應(yīng)答速度。

高效率汽化器VU-450

特點(diǎn)

  • 高効率汽化
  • 維護(hù)成本低
  • 汽化室附近搭載液體流量控制閥

使用范例

大流量汽化

通過對汽化室進(jìn)行增擴(kuò)，從中央雙流體噴嘴噴出的霧氣比VU-430擴(kuò)散得更多，可以穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)液體為TEOS時(shí)20g/min、H2O時(shí)5g/min的大流量汽化。

規(guī)格表

*高溫度 載氣流量 *大H2O汽化流量 *大TEOS汽化流量 密封件
200℃ 0.8~130SLM 5g/min 20g/min Au